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明場(chǎng)光學(xué)缺陷檢測(cè)設(shè)備——BriteSD 300品牌
睿勵(lì)科學(xué)產(chǎn)地
上海樣本
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明場(chǎng)光學(xué)缺陷檢測(cè)設(shè)備——BriteSD 300
BriteSD系列是睿勵(lì)科學(xué)儀器(上海)有限公司在2023年**推出的明場(chǎng)光學(xué)圖形晶圓缺陷檢測(cè)設(shè)備。
該系列適用于集成電路制造,、化合物半導(dǎo)體等領(lǐng)域的缺陷檢測(cè),，
可檢測(cè)缺陷類型:顆粒、污染,、圖形缺少,、劃傷、圖形黏連,、殘留等,，具備晶圓全表面檢測(cè)、
自動(dòng)缺陷分類以及高分辨率的缺陷復(fù)查功能,，運(yùn)用睿勵(lì)自主開發(fā)的先進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)和多種獨(dú)特的算法
,，可以應(yīng)用于檢測(cè)更小的缺陷。
主要特點(diǎn)：
l 支持8/12吋wafer
l 明場(chǎng)檢測(cè)
l 支持硅片,、SiC片檢測(cè)
l 支持Auto Review 功能
l 可多組倍鏡切換:1X,、2X、5X,、20X,、50X
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