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Mars 4400品牌
中電科風華產地
山西樣本
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產品描述:SiC晶圓腐蝕后的位錯檢測設備,。設備采用微分干涉相差的光學顯微成像技術,,可進行全片掃描并采集完整數(shù)據(jù),,計算并自動統(tǒng)計位錯數(shù)量與密度,,生成位錯密度圖。
產品參數(shù):
應用范圍:SiC襯底切割片,、研磨片,、拋光片的位錯檢測分析(經KOH腐蝕)
可測晶片尺寸:標準4,6,8英寸及其它非標尺寸
暫無數(shù)據(jù)!