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CSU200 sic缺陷檢測設(shè)備
CSU200 sic缺陷檢測設(shè)備

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型號

CSU200 sic缺陷檢測設(shè)備

品牌

中科慧遠(yuǎn)

產(chǎn)地

河南

樣本

暫無
中科慧遠(yuǎn)視覺技術(shù)（洛陽）有限公司

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csU200 sic缺陷檢測設(shè)備

CSU200設(shè)備是中科慧遠(yuǎn)對SiC襯底及外延產(chǎn)品開發(fā)的缺陷檢測設(shè)備,。該設(shè)備通過顯微成像系統(tǒng)和光致發(fā)光技術(shù)，實現(xiàn)對各類SiC晶片表面及晶體缺陷的檢測和分類,。該設(shè)備可適用于SiC襯底的來料檢,、出貨終檢，以及Sic外延的過程檢和出貨終檢,。

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