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| 玻璃晶圓缺陷檢測設(shè)備 | |
| 型號(hào) | NOVA-2000-G |
| 晶圓類型 | 玻璃晶圓襯底,、圖形晶圓 |
| 晶圓尺寸 | 4寸,、6寸、8寸,、12寸(可兼容相鄰尺寸) |
| 檢測方式 | 明場,、暗場、微分干涉 |
| 分辨率 | 10μm -0.5μm |
| 鏡頭 | 1X,2X5X,10X,20X,50X |
| 檢測缺陷類型 | 劃痕,，麻點(diǎn),，顆粒物,，污染，崩邊等 |
| 產(chǎn)率 | ≥12WPH(@8英寸晶圓,，分辨率1μm) |
| ≥7WPH(@12英寸晶圓,，分辨率1μm) | |
| 自動(dòng)化 | 2 LoadPort |
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