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國產(chǎn)高分辨輝光放電質(zhì)譜儀（型號：Sparkle型）是十四五科技部重大科學儀器設備開發(fā)專項的**成果，由西安交通大學主導研發(fā),，并依托我公司進行生產(chǎn),、銷售及售后服務。該儀器采用慢速流輝光放電離子源,，同時配備針狀和片狀樣品架,，可用于導體、半導體,、絕緣體,、粉末、涂層等材料分析,。液氮冷卻離子源的結構設計,，輕松對低熔點金屬（如金屬鎵Ga）進行分析。

產(chǎn)品特點：

1.     國產(chǎn)化高分辨質(zhì)譜儀：國內(nèi)首款高分辨輝光放電質(zhì)譜儀,，完全自主可控,，關鍵零部件國產(chǎn)化率超過95%。

2.     固體樣品快速分析：支持片狀,、針狀,、粉末等多種類型固體樣品分析，便捷的樣品裝載結構,，可在1分鐘內(nèi)實現(xiàn)樣品的快速更換,，一次掃描便可實現(xiàn)常量、微量,、痕量,、超痕量雜質(zhì)元素的同時測量。

3.     高質(zhì)量分辨率：采用自主設計的高分辨離子光學系統(tǒng),，**可達到10000的質(zhì)量分辨率（10%峰谷）,，在中分辨率條件下，可實現(xiàn)平頂峰測量,，在提高測量精密度的同時,，采用跳峰法進一步提高分析效率。

4.     低運行成本：采用慢速流離子源,，典型流量0.2sccm,，反應氣消耗成本幾乎可以忽略。高純鉭的放電室易于清潔,，很大限度減小了記憶效應，可以重復使用。

5.     便捷的操作軟件：儀器配套的操作軟件完全自主研發(fā),，操作簡單,、易于上手。支持Windows,、Linux,、國產(chǎn)操作系統(tǒng)。

技術指標

（1）質(zhì)量范圍：6~280 amu,；

（2）質(zhì)量穩(wěn)定性：優(yōu)于25 ppm/30min,；

（3）質(zhì)量分辨率：低分辨（LR）≥400，中分辨（MR）≥4000,，高分辨（HR）≥10000,，單次測量可自動進行分辨率切換；

（4）靈敏度：中分辨下,，銅樣品進樣,，Cu離子的總離子流峰高≥1E10cps；

（5）離子計數(shù)器性能：

??  暗噪聲：≤10 cpm,；

??  探測效率：＞90%

（6）動態(tài)范圍: 不低于1E12,；

（7）儀器檢出限：ppb級別；

（8）豐度靈敏度：中分辨下,，銅樣品進樣,，測量質(zhì)量數(shù)62相對質(zhì)量數(shù)63豐度靈敏度<20ppb；

（9）內(nèi)部重復性：主量成份< 3%RSD,，次量成份< 5%RSD,，痕量成份<10%RSD；

（10）外部重復性：主量成份<5%RSD,，次量成份<10%RSD,，痕量成份<20%RSD。