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高純石墨器件要求高,，制備成本較高，制備周期較長,，生產(chǎn)工序主要包括原料破碎,、煅燒、磨粉,、配料,、混合、軋輥,、磨粉,、雙面壓/等靜壓、焙燒,、浸漬,、石墨化、機加工,、檢驗等,，其中需要多次焙燒和浸漬。我司提供的高純石墨部件涵蓋了石墨坩堝/石墨發(fā)熱桶/石墨舟/石墨棒/石墨桿/石墨柱/石墨紙等石墨制品,，廣泛應用于半導體晶體生長,、外延、離子注入,、等離子蝕刻等制造工藝中,。
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