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石墨制品-電子半導(dǎo)體品牌
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在半導(dǎo)體工業(yè)中,，高純石墨主要是作為加熱系統(tǒng),、保溫罩、電極等存在,，采用高純石墨做這些部件也是充分利用了高純石墨耐高溫這一特點(diǎn),。高純石墨的耐腐蝕、抗氧化,、導(dǎo)電導(dǎo)熱的優(yōu)點(diǎn)應(yīng)用到了半導(dǎo)體工業(yè)中,，使工件使用壽命更長(zhǎng)、更加減磨省電,。我司采用德國(guó)半導(dǎo)體等級(jí)石墨材料,，精密制作離子注入用石墨耗材，提供標(biāo)準(zhǔn)件及客制化規(guī)格,。
高純度石墨根據(jù)均勻細(xì)顆粒的特性可作為低原子序數(shù)材料,，對(duì)離子、等離子具有較強(qiáng)的抗轟擊能力,，很強(qiáng)的抗腐蝕性，純度高沒(méi)有金屬離子不會(huì)對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)生污染,，金屬部件暴露在離子注入設(shè)備中會(huì)造成高的損耗,，故這時(shí)應(yīng)用相應(yīng)的石墨件來(lái)作屏蔽罩。用于等離子cvd用部件 等離子vcd用感受器,、電極室,、噴嘴、內(nèi)襯,、濺射用電極,、movcd感受器等。
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