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PECVD爐承載板（碳碳）品牌
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產(chǎn)品優(yōu)勢：
高強(qiáng)度和穩(wěn)定性：碳碳PECVD爐承載板通常由碳材料制成，具有很高的強(qiáng)度和穩(wěn)定性,，能夠承受高溫和化學(xué)反應(yīng)的影響,，保證在整個PECVD過程中的穩(wěn)定性和可靠性,。
良好的熱傳導(dǎo)性：碳材料的熱傳導(dǎo)性良好,，這有助于在PECVD過程中保持材料的溫度一致，從而提高沉積過程的均勻性和效率,。
耐腐蝕性：由于碳材料具有很好的耐腐蝕性，因此碳碳PECVD爐承載板可以在各種化學(xué)環(huán)境下保持穩(wěn)定,，不會因為化學(xué)反應(yīng)而損壞,。
使用壽命長：碳碳PECVD爐承載板的使用壽命較長，可以減少更換頻率,，降低長期運營成本
性能參數(shù)：
| 產(chǎn)品性能 | 參數(shù) | 單位 |
體積密度 | 1.2-1.5 | g/cm3 |
抗折強(qiáng)度 | 120-150 | Mpa |
| 抗彎強(qiáng)度 | 110-130 | Mpa |
楊氏模量 | 30-40 | Gpa |
灰分 | 500 | ppm |
導(dǎo)熱系數(shù)(1000℃) | 30-32 | W/m.k |
長/寬 | 可根據(jù)客戶需求定制 | |
| 直徑** | 可根據(jù)客戶需求定制 | |
長度** | 可根據(jù)客戶需求定制 | |
厚度 | 可根據(jù)客戶需求定制 | |
**使用溫度 | 2800 | ℃ |
（無氧環(huán)境或惰性氣體保護(hù)下）
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