額定溫度：
-非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
其他燒結氣氛：
其他溫控精度：
-最高溫度：
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設備特點：
1 電阻式碳化硅-單晶爐,，電阻式石墨加熱，改進型Lely方法的升華長晶技術,，物理氣相傳輸法(PVT)生長碳化硅單晶晶體,；
2 采用前出料結構形式設備整體操作簡單、布局合理,，制造,、裝配過程均有嚴格品控；
3 主要組成部件：爐室組件,、傳動系統(tǒng),、加熱系統(tǒng)、氣路系統(tǒng),、真空系統(tǒng),、冷卻系統(tǒng)、自動控制系統(tǒng),、報警系統(tǒng),、人機界面系統(tǒng)等；
4 自主研發(fā)的全自動計算機控制系統(tǒng),，可實現(xiàn)抽空,、檢漏、爐壓,、工藝氣體流量控制,、長晶過程的自動控制。
加熱系統(tǒng)：
石墨加熱器配置：上下兩組獨立石墨電阻加熱器,獨立溫控,，工藝亦可上下加熱器同時溫度 控制,，上方15KW修飾加熱器可修飾坩堝徑向溫度梯度，主加熱器 60KW x 2 控制軸向溫度梯度
控制組件：PLC+PID（人機界面）
控制模式：溫度控制/功率控制
溫度檢測：紅外檢測儀,，上下各配置一個,，上測溫儀可移動量測坩堝邊緣溫度， 可以得到籽晶區(qū)徑向溫度梯度
加熱功率：上方加熱器15KW,，下側主加熱器60KW x 2
**溫度：2400℃
溫控范圍：1000-2400℃,，精度：±1℃
溫控功率精度：滿量程范圍內為設定值的±0.1% W
自動控制系統(tǒng)：
組成：集成機柜+泵閥操作單元+真空測量單元+加熱控制單元+提升旋轉控制單元+水路 檢測單元+進氣及壓力控制單元+報警單元
關鍵制程數(shù)據(jù)實時采集保存（溫度、壓力,、加熱功率,、電流等，保存周期≥1年）
其他非關鍵設備參數(shù)實時采集保存（保存周期≥3個月）
具備溫度，壓力,，電流,，功率等制程參數(shù)實時采集并生成曲線
報警記錄，操作日志保存（保存周期≥6個月）
可設定多組Recipe和離線編輯配置recipe
壓力單位顯示為torr
可遠程監(jiān)控設備運行狀態(tài),，可與生產系統(tǒng)連接
具備用戶登錄及賬戶管理系統(tǒng),，可以為不同的賬戶分配不同的權限
暫無數(shù)據(jù)！
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