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面議型號(hào)
電阻式SiC碳化硅長晶爐品牌
磐云科技產(chǎn)地
上海樣本
暫無非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
其他燒結(jié)氣氛：
其他溫控精度：
-最高溫度：
2400℃額定溫度：
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設(shè)備特點(diǎn)：
1 電阻式碳化硅-單晶爐，電阻式石墨加熱,，改進(jìn)型Lely方法的升華長晶技術(shù),，物理氣相傳輸法(PVT)生長碳化硅單晶晶體；
2 采用前出料結(jié)構(gòu)形式設(shè)備整體操作簡單,、布局合理,，制造、裝配過程均有嚴(yán)格品控,；
3 主要組成部件：爐室組件,、傳動(dòng)系統(tǒng)、加熱系統(tǒng),、氣路系統(tǒng),、真空系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng),、自動(dòng)控制系統(tǒng),、報(bào)警系統(tǒng)、人機(jī)界面系統(tǒng)等,；
4 自主研發(fā)的全自動(dòng)計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng),，可實(shí)現(xiàn)抽空、檢漏、爐壓,、工藝氣體流量控制,、長晶過程的自動(dòng)控制。
加熱系統(tǒng)：
石墨加熱器配置：上下兩組獨(dú)立石墨電阻加熱器,獨(dú)立溫控,，工藝亦可上下加熱器同時(shí)溫度 控制,，上方15KW修飾加熱器可修飾坩堝徑向溫度梯度，主加熱器 60KW x 2 控制軸向溫度梯度
控制組件：PLC+PID（人機(jī)界面）
控制模式：溫度控制/功率控制
溫度檢測：紅外檢測儀,，上下各配置一個(gè),，上測溫儀可移動(dòng)量測坩堝邊緣溫度， 可以得到籽晶區(qū)徑向溫度梯度
加熱功率：上方加熱器15KW,，下側(cè)主加熱器60KW x 2
**溫度：2400℃
溫控范圍：1000-2400℃,，精度：±1℃
溫控功率精度：滿量程范圍內(nèi)為設(shè)定值的±0.1% W
自動(dòng)控制系統(tǒng)：
組成：集成機(jī)柜+泵閥操作單元+真空測量單元+加熱控制單元+提升旋轉(zhuǎn)控制單元+水路 檢測單元+進(jìn)氣及壓力控制單元+報(bào)警單元
關(guān)鍵制程數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)采集保存（溫度、壓力,、加熱功率,、電流等，保存周期≥1年）
其他非關(guān)鍵設(shè)備參數(shù)實(shí)時(shí)采集保存（保存周期≥3個(gè)月）
具備溫度,，壓力,，電流，功率等制程參數(shù)實(shí)時(shí)采集并生成曲線
報(bào)警記錄,，操作日志保存（保存周期≥6個(gè)月）
可設(shè)定多組Recipe和離線編輯配置recipe
壓力單位顯示為torr
可遠(yuǎn)程監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài),，可與生產(chǎn)系統(tǒng)連接
具備用戶登錄及賬戶管理系統(tǒng)，可以為不同的賬戶分配不同的權(quán)限
暫無數(shù)據(jù),！
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