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參數 | 圓片（圓棒） | ||
直徑（mm） | 76.2±0.3 | 100.0±0.3 | 125.2±0.3 |
長度（mm） | ≥80 | ≥60 | ≥50 |
軸向 | X,、Y、Z,、36°Y,、42°Y | ||
晶片厚度（mm） | 0.35-1 | ||
基準邊方向 | X、Y,、112.2°Y | ||
基準邊寬度（mm） | 22.0±2.0 | 32.0±2.0 | |
正面拋光 | Ra≤8A | ||
背面研磨（μm） | 0.2-4 | ||
平整度TTV（μm） | ≤10 | ||
PLTV（5×5mm,；LTV＜1μm） | ≥97% | ≥95% | ≥90% |
彎曲度（μm） | ≤20 | ≤35 | ≤50 |
倒角 | 倒角 | ||
極化 | 完全 | ||
居里溫度（℃） | 605.0±3.0 | ||
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