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SiC單晶生長設(shè)備品牌
江蘇創(chuàng)生源產(chǎn)地
江蘇樣本
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SIC單晶生長設(shè)備
1,、生長反應(yīng)裝置中安裝有上,、下2個溫度傳感器,可準確計算出晶體生長的**△T,;
2,、特殊的RF-Coil(加熱線圈)設(shè)計和電源供應(yīng)設(shè)備的**結(jié)合,為晶體生長提供穩(wěn)頻,、穩(wěn)壓的電源,;
3、特殊的熱場設(shè)計,,可實現(xiàn)8~10次的循環(huán)使用,,降低生產(chǎn)成本;
4,、晶體生長全過程可達到自動化及數(shù)據(jù)記錄和管理,;
5、優(yōu)越的真空,、氣體,、冷卻水控制功能,可確保長時間穩(wěn)定、安全的晶體生長,。
暫無數(shù)據(jù),!