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硅碳負極流化床是一種用CVD氣相沉積和包覆硅碳負極材料的生產裝置。利用載氣通過氣體分布器將多孔碳粉體在反應容器內流化,，
再將含硅氣體原料經過流量配比,，混合后進入反應容器；在高溫下含硅氣體原料裂解為硅和氫,，
硅原子沉積在多孔碳孔道內形成為納米硅,。沉積完成后，再次升溫通入乙炔進行高溫裂解,，完成碳包覆處理,。
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