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鈀管式氫氣純化器
鈀管式氫氣純化器

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型號

鈀管式氫氣純化器

品牌

成都圭芯

產(chǎn)地

四川

樣本

暫無
成都圭芯科技有限公司

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技術(shù)參數(shù)凈化前原氫指標(biāo)(GB/T3634.2-2011)凈化后超純氫指標(biāo)
純度≥99.999%≥99.9999999%
含烴(以甲烷計,ppm)≤1ppm≤0.001ppm
含O2(ppm)≤1ppm≤0.001ppm
含N2(ppm)≤5ppm≤0.001ppm
含H2O(ppm)≤3ppm≤0.001ppm
C的氧化物(ppm)≤2ppm≤0.001ppm


在氣相色譜分析中作載氣,,降低分析誤差,。

用于MOCVD中,超純氫是MOCVD中*理想的攜帶氣體,。載氣越純,后續(xù)工藝越可控,。

用于GaN和SiC外延技術(shù)的氫化物氣相外延,。

生產(chǎn)低功耗、小體積燃料電池,。

產(chǎn)品簡介

鈀管式氫氣純化器是利用鈀膜選擇性透氫的特性,,在鈀膜一側(cè)通入粗氫另一側(cè)可得到超純氫氣,。超純氫氣可用于大學(xué)、實(shí)驗室以及工業(yè)化生產(chǎn),,特別在半導(dǎo)體終端和核車工上有不可替代性,,

產(chǎn)品特點(diǎn)

出口氣體各雜質(zhì)≤1ppb

整機(jī)漏率≤1*10-10mbar.L/s.He

多溫區(qū)設(shè)計,保證熱均勻性

采用真空鍍膜技術(shù)和獨(dú)特的材料擴(kuò)散工藝對其進(jìn)行焊接

通過適時的改變溫度,、壓力和注入有效氣體避免氫脆,、氫裂現(xiàn)象


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10分

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