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鈀管式氫氣純化器品牌
成都圭芯產(chǎn)地
四川樣本
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| 技術(shù)參數(shù) | 凈化前原氫指標(biāo)（GB/T3634.2-2011） | 凈化后超純氫指標(biāo) |
|---|---|---|
| 純度 | ≥99.999% | ≥99.9999999% |
| 含烴（以甲烷計，ppm） | ≤1ppm | ≤0.001ppm |
| 含O2（ppm） | ≤1ppm | ≤0.001ppm |
| 含N2（ppm） | ≤5ppm | ≤0.001ppm |
| 含H2O（ppm） | ≤3ppm | ≤0.001ppm |
| C的氧化物（ppm） | ≤2ppm | ≤0.001ppm |
在氣相色譜分析中作載氣,，降低分析誤差,。
用于MOCVD中，超純氫是MOCVD中*理想的攜帶氣體,。載氣越純，后續(xù)工藝越可控,。
用于GaN和SiC外延技術(shù)的氫化物氣相外延,。
生產(chǎn)低功耗、小體積燃料電池,。
產(chǎn)品簡介
鈀管式氫氣純化器是利用鈀膜選擇性透氫的特性,，在鈀膜一側(cè)通入粗氫另一側(cè)可得到超純氫氣,。超純氫氣可用于大學(xué)、實(shí)驗室以及工業(yè)化生產(chǎn),，特別在半導(dǎo)體終端和核車工上有不可替代性,，
產(chǎn)品特點(diǎn)
出口氣體各雜質(zhì)≤1ppb
整機(jī)漏率≤1*10-10mbar.L/s.He
多溫區(qū)設(shè)計，保證熱均勻性
采用真空鍍膜技術(shù)和獨(dú)特的材料擴(kuò)散工藝對其進(jìn)行焊接
通過適時的改變溫度,、壓力和注入有效氣體避免氫脆,、氫裂現(xiàn)象
暫無數(shù)據(jù)！
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