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Rainbow系列陰極熒光成像及光譜探測系統(tǒng)能夠與掃描電子顯微鏡或聚焦離子束系統(tǒng)配合,，實現(xiàn)陰極熒光全譜及單譜掃描成像、光譜采集以及陰極熒光高光譜分析,。系統(tǒng)配備熒光收集鏡及傳輸光纖,、信號調理采集系統(tǒng)、電子束掃描發(fā)生器,、光譜儀,，通過系統(tǒng)控制與采集軟件集成控制。

系統(tǒng)采用電子束掃描發(fā)生器控制電子顯微鏡的電子束掃描和觸發(fā)探測器工作,，同時可采集經(jīng)信號調理采集系統(tǒng)獲得的熒光強度信號,，從而實現(xiàn)電子束掃描信號與探測器數(shù)據(jù)采集的嚴格同步，獲得陰極熒光成像,、陰極熒光光譜面分布數(shù)據(jù),。該系統(tǒng)可在納米空間分辨率下實現(xiàn)各類材料的陰極熒光成像和光譜測量，尤其適用于半導體材料研究,、光電材料和器件研究研發(fā),、納米光子學科學研究、薄膜和納米結構及礦物等,。

技術參數(shù)

(1)CL功能：單色,、全色、RGB CL成像,?？刹杉c、線,、面CL光譜,。

具備波長單色器成像功能,，采用PMT探測器對用戶感興趣的波長快速成像；

(2)光譜儀采用C-T結構設計,采用超環(huán)面影像校準設計,，全光譜消?差,，覆蓋光譜范圍廣；

(3)高性能橢球反射鏡采集,，CL收集效率?,，總效率可達到90%（Lambertian source）。

探測器類型：單通道探測器（PMT）,、 多通道探測器（CCD）,；

(4)光譜響應范圍：200-1100nm；

(5)增強型光譜儀：焦距320mm,、3光柵,，采用68×68大面積光柵，提升光通量的檢測能力,；

光譜儀耦合模塊,，精確自適應匹配CL準直光束與光譜儀F數(shù)（孔徑），F(xiàn)=4.2,；

(6)CL光強成像采用高速PMT探測器,，波段響應范圍：160-900nm；

(7)CCD光譜分辨：0.2nm（@1200g/mm光柵,，CCD像素尺寸15μm）;

PMT分辨率：0.2nm（@1200g/mm光柵）,；

(8)專業(yè)CL光譜采集，獨立操作軟件,，輕松獲取與分析數(shù)據(jù),，

開源軟件使整個CL成像流程輕松簡單；具備點掃描,、線掃描,、面掃描，全譜,、單譜,、

高光譜成像的功能，全中文操作界面,。