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Rainbow系列陰極熒光成像及光譜探測(cè)系統(tǒng)能夠與掃描電子顯微鏡或聚焦離子束系統(tǒng)配合,，實(shí)現(xiàn)陰極熒光全譜及單譜掃描成像、光譜采集以及陰極熒光高光譜分析,。系統(tǒng)配備熒光收集鏡及傳輸光纖,、信號(hào)調(diào)理采集系統(tǒng)、電子束掃描發(fā)生器,、光譜儀,，通過(guò)系統(tǒng)控制與采集軟件集成控制。

系統(tǒng)采用電子束掃描發(fā)生器控制電子顯微鏡的電子束掃描和觸發(fā)探測(cè)器工作,，同時(shí)可采集經(jīng)信號(hào)調(diào)理采集系統(tǒng)獲得的熒光強(qiáng)度信號(hào),，從而實(shí)現(xiàn)電子束掃描信號(hào)與探測(cè)器數(shù)據(jù)采集的嚴(yán)格同步,，獲得陰極熒光成像、陰極熒光光譜面分布數(shù)據(jù),。該系統(tǒng)可在納米空間分辨率下實(shí)現(xiàn)各類材料的陰極熒光成像和光譜測(cè)量,，尤其適用于半導(dǎo)體材料研究、光電材料和器件研究研發(fā),、納米光子學(xué)科學(xué)研究,、薄膜和納米結(jié)構(gòu)及礦物等。

技術(shù)參數(shù)

(1)CL功能：?jiǎn)紊?、全色,、RGB CL成像?？刹杉c(diǎn),、線、面CL光譜,。

具備波長(zhǎng)單色器成像功能,，采用PMT探測(cè)器對(duì)用戶感興趣的波長(zhǎng)快速成像；

(2)光譜儀采用C-T結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),采用超環(huán)面影像校準(zhǔn)設(shè)計(jì),，全光譜消?差,，覆蓋光譜范圍廣；

(3)高性能橢球反射鏡采集,，CL收集效率?,，總效率可達(dá)到90%（Lambertian source）。

探測(cè)器類型：?jiǎn)瓮ǖ捞綔y(cè)器（PMT）,、 多通道探測(cè)器（CCD）,；

(4)光譜響應(yīng)范圍：200-1100nm；

(5)增強(qiáng)型光譜儀：焦距320mm,、3光柵,，采用68×68大面積光柵，提升光通量的檢測(cè)能力,；

光譜儀耦合模塊,，精確自適應(yīng)匹配CL準(zhǔn)直光束與光譜儀F數(shù)（孔徑），F(xiàn)=4.2,；

(6)CL光強(qiáng)成像采用高速PMT探測(cè)器,，波段響應(yīng)范圍：160-900nm；

(7)CCD光譜分辨：0.2nm（@1200g/mm光柵,，CCD像素尺寸15μm）;

PMT分辨率：0.2nm（@1200g/mm光柵）,；

(8)專業(yè)CL光譜采集，獨(dú)立操作軟件,，輕松獲取與分析數(shù)據(jù),，

開(kāi)源軟件使整個(gè)CL成像流程輕松簡(jiǎn)單,；具備點(diǎn)掃描、線掃描,、面掃描,，全譜、單譜,、

高光譜成像的功能,，全中文操作界面。