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1,、無刷伺服電機(jī)驅(qū)動,，保證設(shè)備穩(wěn)定可靠及潔凈度要求。

2,、 迷宮式氮?dú)饷芊?，腔?nèi)與腔外隔離，無接觸式密封效果,，確保工藝環(huán)境要求,。

3、 采用PTFE 氣控閥組件，PVDF 管路及接頭,。

4,、采用316L 不銹鋼材質(zhì)，表面電解拋光處理,。

5,、沖洗，吹凈,，吹干,，烘干功能，利用高速旋轉(zhuǎn)離心力,，把殘留附著化學(xué)試劑及顆粒塵埃甩除,，

同時潔凈氮?dú)獍褮埩纛w粒塵埃帶走，使產(chǎn)品表面潔凈干燥潔凈,。

6,、靜電消除功能，產(chǎn)品高速運(yùn)動時會產(chǎn)生靜電,，利用高壓除靜電裝置使產(chǎn)品表面達(dá)到中和狀態(tài),。

7、機(jī)械自復(fù)位功能,，停機(jī)待機(jī)片盒朝上,。

8、氮?dú)鈮毫?，門密封狀態(tài),，片盒朝上等條件保護(hù)。

9,、 控制單元獨(dú)立控制,，獨(dú)立運(yùn)行，操作簡單,，維修方便,。