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1,、無刷伺服電機驅(qū)動，保證設(shè)備穩(wěn)定可靠及潔凈度要求,。
2,、 迷宮式氮氣密封，腔內(nèi)與腔外隔離,，無接觸式密封效果,，確保工藝環(huán)境要求。
3,、 采用PTFE 氣控閥組件,，PVDF 管路及接頭。
4,、采用316L 不銹鋼材質(zhì),，表面電解拋光處理。
5,、沖洗,，吹凈，吹干,，烘干功能,，利用高速旋轉(zhuǎn)離心力，把殘留附著化學(xué)試劑及顆粒塵埃甩除,，
同時潔凈氮氣把殘留顆粒塵埃帶走,，使產(chǎn)品表面潔凈干燥潔凈。
6,、靜電消除功能,，產(chǎn)品高速運動時會產(chǎn)生靜電,，利用高壓除靜電裝置使產(chǎn)品表面達到中和狀態(tài)。
7,、機械自復(fù)位功能,，停機待機片盒朝上。
8,、氮氣壓力,，門密封狀態(tài)，片盒朝上等條件保護,。
9、 控制單元獨立控制,，獨立運行,，操作簡單，維修方便,。
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