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雙光束激光干涉儀 aixDBLI品牌
欣源科技產(chǎn)地
北京樣本
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雙光束激光干涉儀專門用于壓電薄膜的蝴蝶曲線和縱向壓電系數(shù)d33的測試。
這是世界上**臺適合于從小尺寸薄膜到8英寸晶圓表征的雙光束激光干涉儀,。
半自動的系統(tǒng)用于8"晶圓上的MEMS器件的壓電性和電性相關性能的測試,。
大量樣品測試的重復精度可達2%以上,。
測試功能：
機電大信號應變、極化,、壓電系數(shù),、小信號介電常數(shù)。
疲勞和電性及機械性能可靠性,。
樣品測試：
極化曲線和位移曲線,。
小信號電容及壓電系數(shù),。
技術參數(shù)：
分辨率： ≤1 pm（X晶向的石英）
測量范圍：5pm- +/- 25nm
波長：632.8nm
位移/應力測試：>50Hz，*小1Hz分辨率,，100mV到10V（可選到200V）
壓電d33系數(shù)：
基電壓100mV到10V（1mHz到1Hz），可選到200V
小信號100mV到10V（1kHz到5kHz）
C-V測試：
基電壓100mV到10V（1mHz到1Hz）,，可選到200V
小信號100mV到10V（1kHz到5kHz）
暫無數(shù)據(jù),！
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