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應用領域：

適用于電子半導體、大規(guī)模集成電路,、MAMS,、單晶硅多晶硅及硅外延、LED,、TFT、氮化鎵,、碳化硅,、科研開發(fā)、實驗分析等,。

特點：

●  適用于氮氣,、氫氣、氧氣,、氬氣,、氦氣和氨氣，原料氣不低于99.999%

●  深度脫除雜質(zhì)O₂,、H₂O,、CO、CO₂、H₂,、N₂,、CH₄和NMHC至1ppb/10ppb

●  雙塔交替吸附再生，單塔催化,，終端Getter吸附,，全自動連續(xù)運行

●  EP級拋光不銹鋼管件

●  配置0.003μm過濾器，去除率可達99.999999% /99.99999%

●  西門子 PLC 可接入DCS系統(tǒng)

●  安全報警功能完善

●  可提供遠程云服務

●  超凈環(huán)境中生產(chǎn)組裝

●  氣體處理量10-20000Nm³/h