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AccuSizerRMini在線顆粒監(jiān)測儀采用模塊化設(shè)計,，可根據(jù)客戶特定需求匹配各類功能模塊，進(jìn)行在線顆粒監(jiān)測,，其中LE40O、FX和FXNano的傳感器選項提供了更大的檢測范圍和濃度限制,。根據(jù)不同類型的樣品采用不同傳感器與進(jìn)樣模塊配對,，可自由切換不稀釋,、一步稀釋或二步稀釋模式。這種設(shè)計可允許我們在應(yīng)用實驗室中檢測多種類型樣品,，并可在生產(chǎn)過程實時監(jiān)測出真實的結(jié)果。
除了模塊化設(shè)計,，AccuSizerR Mini的樣品混合倉和傳感器清洗均為自動化，確保數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和持續(xù)一致性,。AccuSizerRMini采用集成電腦觸屏顯示器的設(shè)計，可減少回到實驗室里監(jiān)控數(shù)據(jù)的頻率,，并且還可以在工藝生產(chǎn)線中實時監(jiān)測以及進(jìn)行連續(xù)的數(shù)據(jù)采集。與市場上的任何其他儀器不同,，AccuSizer° Mini可在幾分鐘內(nèi)真實統(tǒng)計到數(shù)十萬個粒子，而一般設(shè)備可能需要花費數(shù)小時,。
奧法美嘉公司為半導(dǎo)體芯片制造商提供了集成的多點過程控制系統(tǒng)，用以監(jiān)控其研磨液分配,。通過實時監(jiān)測趨勢變化,，可在出現(xiàn)重大問題前停止生產(chǎn)或用于預(yù)防下道工序缺陷的產(chǎn)生。AccuSizerR Mini是為工藝生產(chǎn)線的特殊要求而計,。完全嵌入式的PLC設(shè)備可以通過企業(yè)自身的LIMS系統(tǒng)進(jìn)行控制和監(jiān)控，從而使系統(tǒng)更加效率并且易于使用,。通過單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)而實現(xiàn)高精度檢測,AccuSizerRMini可以看到遠(yuǎn)離主峰幾個ppb水平標(biāo)準(zhǔn)差的LPC分布,?？梢钥焖俳y(tǒng)計到幾十萬個粒子,。
AccuSizer A2000采用單顆粒光學(xué)傳感技術(shù)，單個粒子迪過狄窄的尤惡區(qū)的陽掃』一D刀八九r\P的了吉似R的入射光強度瞬間降低,，強度信號的衰減幅度理論上與杠于懼截且(N僅供國P十曬約通過當(dāng)咸區(qū)產(chǎn)牛的信號，的平方成比例,。用標(biāo)準(zhǔn)粒子建立粒徑與強度信號大小的校正曲線。儀器測得樣品中顆粒通過光感區(qū)產(chǎn)生的信號,，根據(jù)校正曲線計算出顆粒粒徑。傳統(tǒng)光阻法的范圍下限一般到1.5um,。AccuSizer通過光散射增加對小粒子的靈敏度，將單顆粒傳感器的計數(shù)下限拓展至0.5um,。
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