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陶瓷拋光盤(pán)品牌
三磨所產(chǎn)地
河南樣本
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陶瓷載盤(pán)具有高平面精度、高形貌精度,、高使用壽命的特性,，產(chǎn)品生產(chǎn)全流程工藝可靠、質(zhì)量穩(wěn)定,，實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品在不同工況下優(yōu)良的服役性能,，有效解決了電極壓傷、裂盤(pán),、耐腐蝕能力差等諸多難題,，在實(shí)際應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體晶圓材料良好的CMP拋光品質(zhì)，突破了國(guó)外廠商的技術(shù)壟斷,，成功實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)替代,。
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