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陶瓷載盤具有高平面精度、高形貌精度,、高使用壽命的特性,，產品生產全流程工藝可靠、質量穩(wěn)定,，實現了產品在不同工況下優(yōu)良的服役性能,，有效解決了電極壓傷、裂盤,、耐腐蝕能力差等諸多難題,，在實際應用中實現了半導體晶圓材料良好的CMP拋光品質，突破了國外廠商的技術壟斷,，成功實現了國產替代,。
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