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產(chǎn)品概述：
系統(tǒng)主要由蒸發(fā)室,、主抽過渡管路、旋轉(zhuǎn)基片架,、光加熱系統(tǒng),、電子槍及電源、石英晶體振蕩膜厚監(jiān)控儀,、工作氣路,、抽氣系統(tǒng)、控制系統(tǒng),、安裝機臺等部分組成,，體現(xiàn)立方整體外觀，適用于超凈間間壁隔離安裝,，操作面板一端處在相對要求較高超凈環(huán)境,，其余部分（含低溫泵抽系統(tǒng)）處在相對要求較低超凈環(huán)境。

設(shè)備用途：
本系統(tǒng)配有一套電子槍及電源,，可滿足在Al,，Ni，Ag,，Pt,，Pd，Mo,Cr和Ti等多種金屬和介質(zhì)膜基片上均勻沉積多層膜的需要,。