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Radiation 全光譜反射儀
Radiation 全光譜反射儀

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面議

型號

Radiation 全光譜反射儀

品牌

質(zhì)朋儀器

產(chǎn)地

英國

樣本

暫無
質(zhì)朋儀器貿(mào)易(上海)有限公司

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項目

內(nèi)容

規(guī)格概述

1

波長范圍

420~1000nm

2

Resolution

1 nm

3

膜厚測定范圍

250 A- 20 um

4

膜厚測定精度

T=±5A, N=±0.02 based on SiO2 1100A standard wafer

5

膜厚測定重復性

SR Thickness repeatability: ≤ 1? (1?) (at 1100?, SiO2/Si)

6

測定光源

鹵素燈泡( Constant Current Power Supply)

7

透明基板里面反射補正機能

包括透明基板背后反射的修正(軟件)

8

測定SPOT(Spot Size )

50 um Diameter ( 20 X Objective ) , can be smaller with less signal / noise ratio

9

Tact time

2S(測試1S+分析1S


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性價比

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