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在半導體工業(yè)中，高純石墨主要是作為加熱系統(tǒng),、保溫罩,、電極等存在，采用高純石墨做這些部件也是充分利用了高純石墨耐高溫這一特點,。高純石墨的耐腐蝕,、抗氧化、導電導熱的優(yōu)點應用到了半導體工業(yè)中,，使工件使用壽命更長,、更加減磨省電。我司采用德國半導體等級石墨材料，精密制作離子注入用石墨耗材，提供標準件及客制化規(guī)格,。 高純度石墨根據(jù)均勻細顆粒的特性可作為低原子序數(shù)材料,，對離子、等離子具有較強的抗轟擊能力，很強的抗腐蝕性，純度高沒有金屬離子不會對半導體產(chǎn)生污染，金屬部件暴露在離子注入設備中會造成高的損耗,，故這時應用相應的石墨件來作屏蔽罩。用于等離子cvd用部件 等離子vcd用感受器,、電極室,、噴嘴、內(nèi)襯,、濺射用電極,、movcd感受器等。
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