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PECVD石墨舟
PECVD石墨舟

參考價格

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型號

PECVD石墨舟

品牌

浙江華熔

產(chǎn)地

浙江

樣本

暫無
浙江華熔科技有限公司

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  • 石墨舟核心技術(shù)

· 二次純化工藝,,直接提高材料的純度,,長周期工況條件下,石墨舟各點電阻率仍保持優(yōu)異的均勻一致性,,保證電流均勻,,降低鍍膜色差,同時有效減緩石墨舟的氧化,,提高壽命,。

· 舟葉表面C-coating涂層工藝,舟頁表面平面度,、光潔度更好,,使舟頁和硅片之間接觸面積更大,飽和以后使用次數(shù)增加,,舟使用壽命延長,。

· Balance加工工藝,**限度消除石墨舟片內(nèi)應(yīng)力,,長周期使用后不易變形,,有效減少熱延展80%以上。


  • 石墨舟核心指標(biāo)


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