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四氟化碳(CF4)品牌
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四氟化碳(CF4) | |
化學式 | CF4 |
中文名稱 | 四氟化碳 |
英文名稱 | Carbon tetrafluoride |
CAS No. | 75-73-0 |
分子量 | 88.005 |
充裝量 | 13.5Mpa(21.1度) |
應(yīng)用 | 四氟化碳是目前半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中用量**的等離子蝕刻氣體,,其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體,,可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅,、氮化硅,、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻。對于硅和二氧化硅體系,,采用CF4-H2反應(yīng)離子刻蝕時,,通過調(diào)節(jié)兩種氣體的比例,可以獲得45:1的選擇性,,這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅薄膜時很有用,。 |
產(chǎn)品規(guī)格 | ≥99.999% |
四氟化碳,又稱為四氟甲烷,、Freon-14及R 14,,是一種鹵代烴(化學式:CF4)。它既可以被視為一種鹵代烴,、鹵代甲烷,、全氟化碳,也可被視為一種無機化合物,。
-198 °C時,,四氟化碳具有單斜的結(jié)構(gòu),晶格常數(shù)為a = 8.597, b= 4.433, c = 8.381 (.10-1 nm), β = 118.73° ,。
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