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氮化硅的分子式為Si3N4，分子量為140.28,，按重量百分比,，其中硅占60.06%,氮占39.94%。兩種元素電負(fù)性相近,，屬強(qiáng)共價鍵結(jié)合的化合物,。顏色為灰色,、白色或灰白色,，六方晶系、晶體呈六面體,，密度3.44,，硬度9~9.5，努氏硬度約為2200,，顯微硬度為 32630MPa,，熔點(diǎn)1900℃。通常在常壓下1900℃分解,，不溶于水,，溶于氫氟酸。在空氣中開始氧化的溫度 1300~1400℃,，彈性模量為28420~46060MPa,，耐壓強(qiáng)度為490MPa，1285攝式度時與二氮化二鈣反應(yīng)生成二氮硅化鈣,，600度時使過渡金屬還原,，放出氮氧化物，抗彎強(qiáng)度為147MPa,。
氮化硅可由硅粉在氮?dú)庵屑訜峄螓u化硅與氨反應(yīng)而制得,。氮化硅具有硬度高,，熔點(diǎn)高，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,，絕緣性能良好,、并且耐磨損；除氫氟酸外,，它不與其他無機(jī)酸反應(yīng),，抗腐蝕能力強(qiáng)，高溫時抗氧化,。
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