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碳化硅異型件
高強(qiáng)度,、高致密度,、硬度接近金剛石、耐磨損,；
優(yōu)秀的化學(xué)穩(wěn)定性,，能抵抗各種酸、堿及有機(jī)溶劑類的腐蝕,；
高導(dǎo)熱率,、低熱膨脹系數(shù)、耐熱沖擊,，并且*低熱變形,；
耐高溫1600攝氏度以上，具有優(yōu)秀的抗氧化性能,；
電阻率在106-108Ω、無磁性,，符合抗ESD的規(guī)范要求,；
高比剛度和出色的熱均勻性，長期使用不易彎曲變形,；
全面的耐化學(xué)腐蝕能力
耐電漿轟擊,，特別適用于刻蝕設(shè)備；
低密度,、質(zhì)量輕,。
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