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碳化硅異型件
高強度,、高致密度、硬度接近金剛石,、耐磨損,；
優(yōu)秀的化學穩(wěn)定性,，能抵抗各種酸,、堿及有機溶劑類的腐蝕；
高導熱率,、低熱膨脹系數(shù),、耐熱沖擊，并且*低熱變形,；
耐高溫1600攝氏度以上,，具有優(yōu)秀的抗氧化性能；
電阻率在106-108Ω,、無磁性,，符合抗ESD的規(guī)范要求；
高比剛度和出色的熱均勻性，長期使用不易彎曲變形,；
全面的耐化學腐蝕能力
耐電漿轟擊,，特別適用于刻蝕設備；
低密度,、質(zhì)量輕,。
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