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TORRI 多級羅茨真空泵品牌
Busch 普旭產(chǎn)地
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TORRI
多級羅茨真空泵
TORRI 多級羅茨真空泵可為抽空 load lock 腔體提供結(jié)構(gòu)緊湊,、高效節(jié)能的解決方案,。
該泵具有低極限壓力和出色腔體抽真空時間等特點。
工作原理
TORRI BD 真空泵依據(jù)久經(jīng)考驗的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子原理進(jìn)行工作,。通過轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)運動,，泵送介質(zhì)被一級級輸送至出口。
由于轉(zhuǎn)子具有特殊輪廓且采用精密工藝制造,，它們不會彼此觸碰或觸碰到殼體,。此外，壓縮腔內(nèi)無需添加任何潤滑液或工作液,。
轉(zhuǎn)子由直接耦合連接的同步水冷型電機(jī)驅(qū)動,。
暫無數(shù)據(jù)！
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