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TORRI 多級羅茨真空泵
TORRI 多級羅茨真空泵

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型號

TORRI 多級羅茨真空泵

品牌

Busch 普旭

產(chǎn)地

上海

樣本

暫無
Busch普旭

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TORRI

多級羅茨真空泵

TORRI 多級羅茨真空泵可為抽空 load lock 腔體提供結構緊湊,、高效節(jié)能的解決方案。

該泵具有低極限壓力和出色腔體抽真空時間等特點,。

工作原理

TORRI BD 真空泵依據(jù)久經(jīng)考驗的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子原理進行工作,。通過轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)運動,泵送介質(zhì)被一級級輸送至出口,。


由于轉(zhuǎn)子具有特殊輪廓且采用精密工藝制造,,它們不會彼此觸碰或觸碰到殼體。此外,,壓縮腔內(nèi)無需添加任何潤滑液或工作液,。


轉(zhuǎn)子由直接耦合連接的同步水冷型電機驅(qū)動。


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