生產(chǎn)能力（kg/h）：
1000適用物料：
半導(dǎo)體晶圓吸附過(guò)濾面積（c㎡）：
0.02工作原理：
真空過(guò)濾自動(dòng)化程度：
全自動(dòng)性能：
高效過(guò)濾濾料類(lèi)型：
其他樣式：
盤(pán)式
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微孔真空陶瓷工作盤(pán)是各種半導(dǎo)體片生產(chǎn)過(guò)程中用于吸附及承載的專(zhuān)用工具，應(yīng)用于減薄,、劃片、清洗,、搬運(yùn)等工序,。
高致密性陶瓷真空吸盤(pán)(多孔陶瓷真空吸盤(pán))，特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米,，不易阻塞真空力大,，部份面積吸附, 同時(shí)也可作氣浮平臺(tái)，廣泛應(yīng)用半導(dǎo)體,、面板,、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤(pán)是密封的空氣來(lái)維持傳輸,，裝置應(yīng)用僅限用于平坦,，無(wú)孔表面的工作平臺(tái)。使用者通常是機(jī)器操作員,。 在金屬加工領(lǐng)域,，這是一項(xiàng)安全可靠的工件傳輸。
自動(dòng)化搬運(yùn),、對(duì)象吸取,、定位、精密網(wǎng)板印刷用工作臺(tái)，利用孔洞透氣性陶瓷(氧化鋁或碳化硅)接上真空吸力,，將工作物（包括晶圓,、玻璃、PET 膜或其他薄型工作物）放置陶瓷工作吸盤(pán)上,，利用真空吸力使工作物固定,，進(jìn)行清洗、切割,、研磨,、網(wǎng)版印刷及其他加工程序。
加工對(duì)象：2,、3,、4、5,、6,、8、12英寸的半導(dǎo)體片,。
吸盤(pán)類(lèi)型：微孔陶瓷,。
主要特點(diǎn)：平面度、平行度好,，組織致密均勻,、強(qiáng)度高、通透性好,、吸附力均勻,。
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泡沫陶瓷過(guò)濾板采用三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)和連通氣孔的有機(jī)泡體作載體,，將其侵入具有觸變性的特殊質(zhì)熔融材料漿料中,，采用四方校正中心距全自動(dòng)擠壓工藝，使?jié){料均勻敷與載體的泡體骨架上,，經(jīng)過(guò)烘干固化高溫1680℃焙燒而成
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