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一、熔融石英玻璃
康寧供應(yīng)的熔融石英有許多不同的等級,，以支持不同的產(chǎn)品應(yīng)用,。玻璃代碼7980、7979 和 8655 是高純度熔融石英玻璃,，具有優(yōu)良光學(xué)特性,。
其產(chǎn)品特性包括：折射率變化極低，從而具有較高水平的同質(zhì)性,；雙折射值極低,；尺寸大；覆蓋從紫外波段到紅外波段的透光率,；所有這些特性對滿足客戶的苛刻要求都至關(guān)重要,。
二、低膨脹玻璃
CorningULE?7973是一種含鈦硅酸鹽低膨脹玻璃,，這種玻璃專為滿足遮蔽需求及用作紫外線光刻用途的光學(xué)基板而設(shè)計,。7973 與 ULE? 7972 玻璃有相似的組成，也是采用相同的氣相沉積工藝制作的,。光刻技術(shù)從 193nm向13.4nm工藝發(fā)展中所需要的一個主要的設(shè)計轉(zhuǎn)變,，是步進光組由折射專為反射。 在反射光學(xué)中,，基板材料應(yīng)該是純粹無源的,。入射光應(yīng)被多層光學(xué)涂層及光掩膜反射開，不會因底層基板造成任何機械或光學(xué)上的變形,。為了使微小溫度變化造成的變形減到*小,，并達到嚴格的紫外線光刻規(guī)范，基板的熱膨脹系數(shù)(CTE)必須接近于零,，并在膨脹范圍內(nèi)嚴格控制在零附近,。極低的熱膨脹系數(shù)需要達到每攝氏度十億分之一(ppb/C)。
三,、氟化鎂玻璃
氟化鎂是一種耐用的低吸收晶體,，適用于高功率激光、空間和其他紫外線應(yīng)用,。氟化鎂 也是自然的雙折射的,，使它成為理想的可利用該特性的材料，如延遲板和偏振元件,，特別是在0.13-0.30μm的波長范圍內(nèi),。單晶錠專門在美國采用高純化材料生產(chǎn)，確保一致的供應(yīng),。全方位的形狀和表面,，從坨料、坯料到復(fù)雜的多面,高度拋光零件都可選擇,。提供了標準的（001）取向以及定制取向的零件和材料,。各種表面處理和涂層可以定制和組合以滿足個別客戶的標準。
四,、氟化鈣玻璃
氟化物晶體材料具有特殊的純度和質(zhì)量,，晶體材料在多波長下傳輸，可用于各種應(yīng)用,?？祵幑具€提供設(shè)計工程、制造,、拋光和涂層能力,。氟化鈣是獨特的適合苛刻的深紫外線到紅外光學(xué)應(yīng)用。氟化鈣物理穩(wěn)定,，化學(xué)惰性強,，硬度高，是微光刻和激光光學(xué)應(yīng)用的**材料,。單晶錠采用康寧公司的高純化材料工藝,，確保高質(zhì)量晶體等級的持續(xù)供應(yīng)。一系列全方位的形狀可供選擇,，從鋼錠到坯料和成品,，包括復(fù)雜的多面結(jié)構(gòu)和高度拋光的零件。我們提供標準定位,，以及特定定位的零件,。多種材料等級可滿足客戶的需求；可見紅外,、紫外線,、準分子、超準分子和激光耐久性,。低吸收性涂層是根據(jù)客戶的標準而定制的,，包括在反射,、抗反射和部分反射應(yīng)用中增強激光耐久性的涂層。
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