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ESDP變螺距干式螺桿真空泵品牌
沃爾姆產(chǎn)地
山東樣本
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■ ESDP干式螺桿泵的應用范圍
●ESDP系列在半導體合成及液晶生產(chǎn)上的應用,，主要有半導體等離子增強氣相沉淀(PECVD)和反映離子刻蝕(RIE)工藝，液晶生產(chǎn)蝕刻制程和生產(chǎn)TFT熒幕電漿(PLASMA)的CVD制程中,。此工藝要求返流為0,，以保護工件免受污染。
● 在石油化工中,，主要是抽取可凝性氣體，或有毒氣體,，或腐蝕性氣體,，或含有微塵的氣體。
●制藥行業(yè),，用于藥物的真空干燥,，藥物中間體回收，回收氣體消毒劑,，為人造器官提供清潔無菌條件等,。
●化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收，例如萃取回收丙酮,，多元醇等工藝
●工業(yè)排氣;集中式真空處理系統(tǒng)
●擠出機的混合工藝及板材的排氣工藝
●混合樹脂脫腥工藝;在脂肪酸生產(chǎn)中用于消除水污染,，及噴射器中的阻塞物
●食品行業(yè)用于香料、香精濃縮,，食品包裝等,。
■ ESDP干式螺桿真空泵技術參數(shù)
| 型號 | 抽氣量 | 極限壓力 | 電機功率 | 轉速 | 進氣 | 排氣 | 冷卻水量 | 噪聲 | 重量 |
| M3/h | Pa | KW | rpm | mm | mm | L/min | dB | Kg | |
| ESDP320 | 260 | 1.33 | 7.5 | 2900 | 65 | 50 | 10 | 80 | 320 |
| ESDP430 | 360 | 1.33 | 11 | 2900 | 65 | 50 | 12 | 80 | 380 |
| ESDP650 | 540 | 1.33 | 15 | 2900 | 80 | 65 | 12 | 80 | 580 |
| ESDP900 | 750 | 1.33 | 18.5 | 2900 | 100 | 65 | 20 | 80 | 680 |
| ESDP1500 | 1400 | 1.33 | 37 | 2900 | 125 | 80 | 30 | 82 | 950 |
如需得到更為詳細的信息，請咨詢客服,。
■ ESDP干式螺桿真空泵標準配件
基座和防護罩
排氣消聲器及進氣分離器
吸氣口
止回閥
真空計
■ ESDP干式螺桿真空泵可選配件
吸濾器
排氣冷凝器
吸入式氣液分離器
流量開關及溫度開關
暫無數(shù)據(jù),！
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