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三氯氫硅在線色譜分析儀三氯氫硅作為制造多晶硅的主要原料,,其中二氯二氫硅的含量對優(yōu)化工藝十分重要,,目前一般都是取樣到實驗室進行分析。實際中由于三氯氫硅的化學和物理特性,,使本樣品取樣分析非常危險和困難,,且取樣到實驗室分析對在線生產的指導時間滯后性太大。我們通過現(xiàn)場實地考察,,并與現(xiàn)場各位應用專家進行深入交流,,設計可應用于三氯氫硅在線分析的在線色譜??梢宰龅綄崟r分析現(xiàn)場管道內樣品組分的變化,,從而根據(jù)變化情況進行優(yōu)化。
使用本設備可以每10分鐘分析一組現(xiàn)場管道內三氯氫硅中二氯二氫硅的變化情況,,通過4-20ma將二氯二氫硅的含量數(shù)據(jù)傳送給DCS系統(tǒng),,以便現(xiàn)場工藝專家可以對多晶硅的生產工藝進行優(yōu)化。
三氯氫硅在線色譜分析儀是我們自主研發(fā)的在線分析儀器,,隔爆型設計,,無需大量儀表風吹掃,模塊化設計,,保證高可靠性,,客戶定制方案開發(fā),安裝調試測試為一體的交鑰匙工程服務體系,。
暫無數(shù)據(jù),!