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8-12寸硅舟品牌
盾源聚芯產(chǎn)地
寧夏樣本
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技術優(yōu)勢
1.可進行硅舟結構的定制化設計,，包括溝棒形狀,，溝齒長度、形狀,、傾斜角度,，以及硅舟的總載片量。
2.高溫硅舟可以有效減少硅片的接觸損傷,，提升制程良率,。
3.熔接硅舟可以對損壞部件進行更換，降低持有成本,。
4.硅舟擁有較大的多晶硅沉積上限,，可以有效減少設備PM頻率，提升產(chǎn)能,。
暫無數(shù)據(jù),！
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