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OPX 是目前***的模塊化系統(tǒng),，適用于豐富的表面力學(xué)測(cè)試，可安裝 4 個(gè)不同的測(cè)量頭/模塊,。
OPX 可測(cè)量直徑不超過 300 mm (12”)的樣品,。
高質(zhì)量視頻顯微鏡為該平臺(tái)的標(biāo)配。
系統(tǒng)尺寸：
900 mm x 625 mm,，高 1300 mm
位移臺(tái)：
X：245 mm
Y：120 mm
Z：30 mm
重量：
275 k
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