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RGA系列殘余氣體分析儀

可以定量和定性分析出真空腔中殘余氣體的濃度和成分,。

RGA系列殘余氣體分析儀特點(diǎn)

◇100,，200,，和300amu ◇優(yōu)于1amu的分辨率◇6個(gè)量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍◇可檢測(cè)5 x 10^-14Torr

◇實(shí)時(shí)RGA Windows和LabVIEW軟件◇質(zhì)譜,，泄漏檢測(cè)和壓力對(duì)時(shí)間方式◇現(xiàn)場(chǎng)可更換的電子倍增器和燈絲◇RS232計(jì)算機(jī)接口

RGA系列殘余氣體分析儀選型表

殘余氣體分析儀（RGA）劃分為100、200,、300amu三種型號(hào),，其優(yōu)異的性能使其成為真空分析儀中**產(chǎn)品。每一個(gè)RGA系統(tǒng)都由一個(gè)四級(jí)桿探針和電子控制單元組成,，實(shí)時(shí)分析windows軟件包可以更方便用于數(shù)據(jù)采集和分析,，并可進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。

探測(cè)器類型標(biāo)準(zhǔn)法拉第杯(FC),， 可選電子倍增 (EM)分辨率優(yōu)于0.5amu靈敏度(A/Torr) 2 × 10^?4 (FC),， <200 (EM).探測(cè)極限 5 × 10^?11 Torr (FC)， 5 × 10^?14 Torr (EM)測(cè)試范圍 10^?4 Torr to UHV (FC) 10^?6 Torr to UHV (EM)操作溫度 70 °C (max.)工作溫度 300 °C (without ECU)