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APIX超高純電子氣質(zhì)譜分析儀

結(jié)合了工藝先進(jìn)的電子電路和功能強(qiáng)大的過(guò)程分析軟件的,、性能** 的大氣壓離子化質(zhì)譜儀 (API-MS)使得 Thermo Scientific APIX 生產(chǎn)線提供的分析儀系統(tǒng)成為半導(dǎo)體和電子工業(yè)大宗氣體連續(xù)質(zhì)量控制的選擇,。 API-MS 為傳統(tǒng)質(zhì)量控制技術(shù)提供了一個(gè)成本-效益的替代方案,，允許每種大宗氣體中一系列潛在污染物濃度監(jiān)測(cè)能夠達(dá)到很低的測(cè)量下限,；相較于其他技術(shù)，甚至能夠優(yōu)于100倍,。 APIX產(chǎn)品線提供了更多完整的雜質(zhì)分析,，包括： H₂、CO,、CO₂,、H₂O、O₂,、CH₄、Kr和 Xe ,，以及其他需要測(cè)量的雜質(zhì),。隨著 300 mm 晶圓生產(chǎn)者發(fā)布更嚴(yán)格污染物控制氣體質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，這種技術(shù)將持續(xù)的成為ppt級(jí)雜質(zhì)測(cè)量下限的**技術(shù)。

特點(diǎn)：

·快速在線測(cè)量（典型＜5秒）確保 了立即響應(yīng)供氣的波動(dòng)狀況

·完全集成的多分析器分析方案提 供了污染物的快速檢測(cè)

·超高的靈敏度和<10ppm的測(cè)量下限滿足當(dāng)下以及未來(lái)的嚴(yán)格的氣體分析要求

·備份能力在單個(gè)大氣壓離子化分 析器（API）在維護(hù)時(shí),，允許每 一臺(tái)大氣壓離子化質(zhì)譜儀（APIMS）支持多流路分析

·針對(duì)于工廠控制和數(shù)據(jù)集中的標(biāo)準(zhǔn) 化工業(yè)通訊協(xié)議 (OPC,， DDE,， Modbus,， Siemens 3964R,， PROFIBUS,， 等等)

應(yīng)用

·超高純氮?dú)猓?/span>UHP N₂）

·超高純氬氣（UHP Ar）

·超高純氦氣（UHP He）

·超高純氫氣（UHP H₂）

運(yùn)行原理

APIX δQ 和APIX Quattro 采用陽(yáng)離子大氣壓離子化質(zhì)譜儀 （ API-MS）技術(shù)， 該技術(shù)被電子工業(yè)廣泛用于檢測(cè)超純氣體中的污染物,。進(jìn)樣時(shí)，樣氣以大氣壓或略高于大氣壓的壓力進(jìn)入離子源,。 金屬針設(shè)置在靠近由孔板行成的通向棱鏡組的入口附近,。它帶有高的電壓，能夠產(chǎn)生電暈放電,。這就產(chǎn)生了從孔板到針頭的電子流,。電子與離子源中 大量樣氣發(fā)生反應(yīng),，從而導(dǎo)致大量樣氣氣體分子的電離。 幸運(yùn)的是,，相對(duì)于氮?dú)狻錃?、氦氣和氬氣而言，這些出現(xiàn)在樣氣中濃度很低的污染物需要很少的能量就可以產(chǎn)生 電離。正是因?yàn)槿绱?，任何污染物分子出現(xiàn)在樣氣中，它們與樣氣離子發(fā)生反應(yīng)的幾率就非常高,。 這種反應(yīng)發(fā)生時(shí)，電荷轉(zhuǎn)移至污染物氣體分子,，這就形成了再次電離,。 這個(gè)電荷轉(zhuǎn)移導(dǎo)致非常高比例的污染物氣體分子被電離,。 事實(shí)上，這個(gè)效率比其他使用真空腔電離技術(shù)的質(zhì)譜儀,， 其效率要高1000倍,。 部份樣品,、完全電離的污染物,，經(jīng)過(guò)一系列的減壓透鏡后，進(jìn)入三重四級(jí)桿質(zhì)譜儀,。一個(gè)測(cè)量質(zhì)量數(shù)達(dá)到300道爾頓（原子質(zhì)量單位）三重四級(jí)桿能夠確保實(shí)現(xiàn)所有污染物的精確測(cè)量,。脈沖計(jì)數(shù)放大器的噪聲等級(jí)僅為10個(gè)脈沖,，每10⁶個(gè)脈沖， 與大氣壓離子源配合后,， 能夠確保12數(shù)量級(jí)的測(cè)量下限,，它可以低10¹²之一 (即1 ppt).

配置：

APIX δQ的標(biāo)準(zhǔn)配置為一個(gè)單一機(jī)箱,，它里面配置了1個(gè)大氣壓離子化質(zhì)譜儀（API-MS）和 一個(gè)Air Liquide 氣體處理單元，它能夠用于ppb或ppt級(jí)自動(dòng)校準(zhǔn),。標(biāo)準(zhǔn)機(jī)箱是為 相對(duì)空氣潔凈且有溫度控制的環(huán)境而配置,；如果需要，一定數(shù)量的冷卻降溫和吹掃選項(xiàng)也可以滿足更多環(huán)境需求,。

APIX Quattro 標(biāo)準(zhǔn)配置使用了三個(gè)機(jī)箱,，兩個(gè)配置了4 個(gè)大氣壓離子化質(zhì)譜儀（API-MS）獨(dú)立機(jī)箱，和第三個(gè)裝有一個(gè)Air Liquide 氣體處理單元機(jī)箱,。 四個(gè)質(zhì)譜儀中的每一個(gè)都安裝在滑軌上,，以便向前拖出，便于維護(hù),。 頂部安裝的機(jī)箱蓋包含流路切換閥組,， 用于采樣氣體連接。它允許多個(gè)流路連接到每個(gè)獨(dú)立的 散裝氣體分析器,。這種流路選擇可以是手動(dòng)或完全自動(dòng)完成,。每一個(gè)大氣壓離子化質(zhì)譜儀（ API-MS ）都是獨(dú)立的，并且都具備多流路切換功能,。當(dāng)一臺(tái)質(zhì)譜儀進(jìn)行年度固定維護(hù)時(shí)，可以使用其余三臺(tái)質(zhì)譜儀監(jiān)測(cè)四個(gè)散裝氣體,。

在這兩種配置的機(jī)箱蓋組件包含一個(gè)氫安全系統(tǒng),，以確保質(zhì)譜儀在氫氣泄漏時(shí)安全關(guān)閉。這個(gè)安全設(shè)備使用獨(dú)立于質(zhì)譜儀供電,。如果需要有限的機(jī)動(dòng)性,，可以提供一組車輪，使該質(zhì)譜儀能夠安全地從一個(gè)測(cè)試點(diǎn)推送到另一個(gè)測(cè)試點(diǎn),。 每一個(gè)質(zhì)譜儀通過(guò)使用后備電池閃存,、運(yùn)行實(shí)時(shí)的操作系統(tǒng)的處理器控制。這個(gè)處理器作為一系列內(nèi)部控制器的主人,，它們之間的通過(guò)以太電纜實(shí)現(xiàn)互聯(lián),。 這些微處理器中的每一個(gè)都能作為一個(gè)獨(dú)立部件單獨(dú)運(yùn)行，例如氣體處理器和多流路進(jìn)樣系統(tǒng),。

氣體處理器僅需要一個(gè)單獨(dú)的校準(zhǔn)氣瓶并結(jié)合了來(lái)自滲透管裝置的濕度校準(zhǔn),。 內(nèi)部配電裝置通過(guò)內(nèi)部分析儀網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行監(jiān)測(cè)和控制。 這一設(shè)計(jì)拓展了 GasWorks® 軟件的診斷能力,。每一個(gè)多處理器網(wǎng)絡(luò)提供了冗余的通訊渠道,，允許質(zhì)譜儀可靠、不需要電腦工作站獨(dú)立運(yùn)行,，直接傳送樣品流路數(shù)據(jù)和診斷信息至DCS或SCADA系統(tǒng),。

每一個(gè)通訊渠道都可被配置為點(diǎn)對(duì)點(diǎn)的 光纖通訊或是硬接線的電流回路,、多點(diǎn)連接 。每個(gè)分析器都可以配置一個(gè)嵌入式opc服務(wù)器,，與 Microsoft® 主機(jī)或多種工藝網(wǎng)關(guān)協(xié)議(Modbus,， Siemens，® Allen-Bradley,，® 等.)實(shí)現(xiàn)無(wú)縫通信 ,。如果需要質(zhì)譜儀提供硬接線模擬檢測(cè)和數(shù)字報(bào)警輸出， OPTO 22 SNAP 和 OPTOMIX 協(xié)議將被完全支持,，一系列硬件卡件能夠使用,。

Thermo Scientific GasWorks 軟件

Thermo Scientific GasWorks 軟件包為質(zhì)譜儀操作提供了一個(gè)直觀的、信息豐富且靈活的窗口,。使用安裝了Gasworks軟件的一臺(tái)電腦可以完成初始設(shè)置,，過(guò)程數(shù)據(jù)和診斷信息的顯示。我們也可以斷開(kāi)電腦與APIX的連接,；APIX能夠脫離與電腦的連接而獨(dú)立運(yùn)行于無(wú)人值守模式,。 從設(shè)計(jì)概念到數(shù)代產(chǎn)品，完全認(rèn)可的ISO 9001質(zhì)量程序得到了軟件團(tuán)隊(duì)的嚴(yán)格執(zhí)行,。 軟件安裝可以隨時(shí)檢查,，以確保其可驗(yàn)證的完整性和正確性。軟件更新可以遠(yuǎn)程上傳,。

技術(shù)參數(shù)