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C11627-01 納米膜厚測(cè)量?jī)x系列
特性
無參照物工作
尺寸緊湊,，節(jié)省空間
高速,、高準(zhǔn)確度
不整平薄膜精確測(cè)量
分析光學(xué)常數(shù)（n，k）
可外部控制
參數(shù)
| 型號(hào) | C11627-01 |
| 可測(cè)膜厚范圍（玻璃） | 20 nm to 50 μm*1 |
| 測(cè)量可重復(fù)性（玻璃） | 0.02 nm*2 *3 |
| 測(cè)量準(zhǔn)確度（玻璃） | ±0.4 %*3 *4 |
| 光源 | LED |
| 測(cè)量波長(zhǎng) | 420 nm to 720 nm |
| 光斑尺寸 | Approx. φ1 mm*3 |
| 工作距離 | 10 mm*3 |
| 可測(cè)層數(shù) | *多10層 |
| 分析 | FFT 分析,，擬合分析,，光學(xué)常數(shù)分析 |
| 測(cè)量時(shí)間 | 19 ms/點(diǎn)*5 |
| 光纖接口形狀 | FC |
| 外部控制功能 | RS-232C，Ethernet |
| 電源 | AC100 V to 240 V,， 50 Hz/60 Hz |
| 功耗 | 70W |
*1：以 SiO2折射率1.5來轉(zhuǎn)換
*2：測(cè)量400 nm 厚SiO2 薄膜的標(biāo)準(zhǔn)偏差
*3：取決于所使用的光學(xué)系統(tǒng)或物鏡的放大率
*4：可保證的測(cè)量范圍列在VLSI標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量保證書中
*5：連續(xù)數(shù)據(jù)采集時(shí)間不包括分析時(shí)間
暫無數(shù)據(jù),！
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