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穩(wěn)健性工業(yè)設(shè)計(jì)（Robust Design）和經(jīng)過(guò)實(shí)踐證明的高可靠性軸承系統(tǒng)。
緊湊型結(jié)構(gòu)以滿足更小的物理空間安裝需求,。
高氣流量和高抽速,。
可任意角度安裝,。
防護(hù)等級(jí)IP54符合工業(yè)環(huán)境應(yīng)用要求。
可應(yīng)用于腐蝕性氣體工況,。
SEMI S2 和 UL認(rèn)證,。
完整的配件系統(tǒng)擴(kuò)展了潛在客戶的需求。
更長(zhǎng)時(shí)間維護(hù)保養(yǎng)時(shí)間,。
可現(xiàn)場(chǎng)更換軸承,。
| Bearing 軸承 | Hybrid |
| Compression ratio for Ar 氬氣壓縮比 | > 1 · 1011 |
| Compression ratio for H2 氫氣壓縮比 | 1.4 · 105 |
| Compression ratio for He 氦氣壓縮比 | 1.3 · 107 |
| Compression ratio for N2 氮其壓縮比 | > 1 · 1011 |
| Cooling method， optional 冷卻方式,，選擇性 | Air/water |
| Cooling method,， standard 冷卻方式，標(biāo)準(zhǔn) | Convection |
| Cooling water consumption 冷卻水耗量 | 75 l/h |
| Cooling water temperature 冷卻水溫度 | 5-25 °C | 41-77 °F | 278-298 K |
| Electronic drive unit 控制器 | with TC 110 |
| Flange (in) 法蘭（進(jìn)） | DN 63 ISO-K |
| Flange (out) 法蘭（出） | DN 16 ISO-KF / G 1/4" |
| Fore-vacuum max. for N2 氮?dú)?*前級(jí)真空 | 22 hPa | 16.5 Torr | 22 mbar |
| Gas throughput at full rotational speed for Ar 氬氣全轉(zhuǎn)速時(shí)的氣流量 | 0.54 hPa l/s | 0.4 Torr l/s | 0.54 mbar l/s |
| Gas throughput at full rotational speed for H2 氫氣全轉(zhuǎn)速時(shí)的氣流量 | 15.3 hPa l/s | 11.48 Torr l/s | 15.3 mbar l/s |
| Gas throughput at full rotational speed for He 氦氣全轉(zhuǎn)速時(shí)的氣流量 | 2.7 hPa l/s | 2.02 Torr l/s | 2.7 mbar l/s |
| Gas throughput at full rotational speed for N2 氮?dú)馊D(zhuǎn)速時(shí)的氣流量 | 1.3 hPa l/s | 0.98 Torr l/s | 1.3 mbar l/s |
| Interfaces 接口 | RS-485,， Remote |
| Mounting orientation 安裝方向 | in any orientation |
| Operating voltage 運(yùn)行電壓 | 24 (± 5 %) V DC |
| Permissible magnetic field max. 容許的**磁場(chǎng) | 3.3 mT |
| Protection category 防腐等級(jí) | IP 54 |
| Pumping speed for Ar 氬氣抽速 | 66 l/s |
| Pumping speed for H2 氫氣抽速 | 48 l/s |
| Pumping speed for He 氦氣抽速 | 58 l/s |
| Pumping speed for N2 氮?dú)獬樗?/span> | 67 l/s |
| Rotation speed ± 2 % 旋轉(zhuǎn)速度 ± 2 % | 90000 min-1 |
| Rotation speed variable 可變旋轉(zhuǎn)速度 | 50-100 % |
| Run-up time 啟動(dòng)時(shí)間 | 1.7 min |
| Sound pressure level 聲壓級(jí) | ≤ 48 dB (A) |
| Ultimate pressure according to PNEUROP 根據(jù)PNEUROP的極限壓力 | < 1 · 10-7 hPa |< 7.5 · 10-8 Torr |< 1 · 10-7 mbar |
| Venting connection 排氣連接件 | G 1/8" |
| Weight 重量 | 2.4 kg | 5.29 lb |
Pfeiffer vacuum渦輪分子泵 Hipace80尺寸
Pfeiffer vacuum渦輪分子泵Hipace80抽速
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