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阿瑞斯-μVOC空氣分子污染物監(jiān)測系統(tǒng)

高達16通道的低于ppb級濃度有機物監(jiān)測

連續(xù)監(jiān)測@ sub ppb級

醋酸,、草酸、胺類,、N-甲基吡咯烷酮(NMP),、六甲基二硅胺烷（HMDS）、鄰苯二甲酸二辛酯（DOP）,、鄰苯二甲酸二丁酯（DBP）,、鄰苯二甲酸二乙酯（DEP）、異丙醇,、丙酮,、硼酸三甲酯、二甲苯,、磷酸三乙酯---等其他有機物

空氣分子污染物 (AMC) 對于高科技生產(chǎn)過程是關(guān)鍵性因素,，特別是微電子行業(yè)，有機污染物是生產(chǎn)過程中的消極因素,，會導(dǎo)致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問題而產(chǎn)生的成本增加,。

無空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標，通過污染物源頭控制,、傳播控制,，實時監(jiān)控污染物濃度并結(jié)合多級過濾器以及新風系統(tǒng)來實現(xiàn)，持久監(jiān)測AMC濃度,，有助于掌握污染物源頭,、穩(wěn)定生產(chǎn)、預(yù)防過濾器突發(fā)性壽命減少等,。

uVOC-CAM提供給客戶一個實時快捷持續(xù)的在線空氣分子污染物AMC監(jiān)測方案,，不需要采樣，離線測量,。

檢測限達到sub-ppb級

潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC,，內(nèi)部來自建筑材料釋出、設(shè)備和材料釋出,、腐蝕和光刻等工藝過程中化學藥品逸散,、人員產(chǎn)生,、管路泄露、設(shè)備維護修理時散發(fā)等,，外部來自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物,，以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。

一旦AMC空氣分子污染物超標會引起一系列嚴重后果,，比如晶圓廢棄,、停產(chǎn)、重新凈化潔凈室等,。

空氣分子污染物問題:從潔凈間到生產(chǎn)機臺加工

隨著IC產(chǎn)品生產(chǎn)成本的增加,，空氣分子污染物AMC的監(jiān)測變得越來越重要。

污染物從加工到超凈間的擴散,，并且成份的增加,，分子污染物來自多個源頭，比如生產(chǎn)化學藥劑,、建筑材料,、潔凈間設(shè)備裝置、操作人員等,。

μ-VOC 系統(tǒng)意味著潛在鑒別空氣分子污染物與產(chǎn)生污染問題和減少污染問題之間的關(guān)聯(lián),，完整的全量程全組份實時sub-ppb級測量，提供早期AMC監(jiān)測和快速確定這些污染問題的原因,。

亮點

一般特點

在線連續(xù)質(zhì)量監(jiān)測全部自動化系統(tǒng)

低濃度VOC監(jiān)測

獨立分開測量有機物成份

Sub-ppb檢測限

集成計算機和控制軟件以及數(shù)據(jù)采集與處理功能

應(yīng)用

潔凈間污染物監(jiān)測

過濾器狀態(tài)監(jiān)測

加工過程全組份測量診斷污染物

通過成份形成跟蹤污染物源頭

許多生產(chǎn)過程化學藥劑成為污染物的源頭,，NH3因光刻工藝過程而*為**。六甲基二硅胺烷（HMDS）又分解成三甲基硅醇和NH3,，等等很多類似的化學藥劑的分解與釋放,，都造成AMC的增加。而實時迅速測量這些成份濃度的μ-VOC 系統(tǒng)可以跟蹤污染物形成的時間和路線,。

工作原理

GC氣相色譜是分離多種復(fù)雜混合物常用的技術(shù),，這種技術(shù)依賴于揮發(fā)性有機混合氣體在色譜柱的多組份分離。

當不同的揮發(fā)性有機物從色譜柱分離出來后通過氫氣/空氣火焰離子檢測器探測電導(dǎo)率的變化,，從而確定不同組份的濃度,，獨特的吹掃和載氣系統(tǒng)可使儀器達到sub-ppb檢測限。

特性:

可測組份