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SPARC -高性能SEM陰極發(fā)光成像系統(tǒng)
SPARC -高性能SEM陰極發(fā)光成像系統(tǒng)

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蘇州德尓微儀器有限公司

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ARC(angle resolved cathodoluminescence)由FOM Institute of AMOLF的Peter Polman group 創(chuàng)新研發(fā),, 獲得2014年MRS創(chuàng)新大獎(jiǎng)。 后由荷蘭Delmic公司重新設(shè)計(jì)并商用,,它是一套高性能的陰極發(fā)光檢測(cè)系統(tǒng),。憑借獨(dú)特的高精度鏡面,,SPARC開辟了新的研究途徑,如電子束引起的納米光子學(xué),。靈敏度和易用性,,SPARC幫助和推動(dòng)科學(xué)家將陰極發(fā)光應(yīng)用到更多高階研究領(lǐng)域。

全面表征樣品特性

SPARC是研究納米級(jí)光譜信息的**理想平臺(tái),。該系統(tǒng)集成在SEM上,,讓您能夠輕松實(shí)現(xiàn)陰極發(fā)光成像與SEM其他探測(cè)結(jié)果的**關(guān)聯(lián),如EBSD電子背散射衍射,,EBIC和BSD,。這使您能夠充分全面地表征你的樣品特性。

與SEM無(wú)縫集成

系統(tǒng)無(wú)干涉安裝在SEM提供的真空端口上,,內(nèi)部硬件可電動(dòng)回退,。恢復(fù)電鏡到原始狀態(tài)異常簡(jiǎn)單輕松,, 您只需要操作軟件,,點(diǎn)擊拋物鏡回退功能即可。整個(gè)過(guò)程不到五分鐘,,就可完整恢復(fù)SEM到其原始狀態(tài),。

快速光強(qiáng)掃描

快速模擬量光電倍增管PMT檢測(cè),可用于大規(guī)??焖俪上?。對(duì)于大面積樣品快速檢測(cè),非常適合地質(zhì)領(lǐng)域的應(yīng)用,、超快器件的研究和感興趣區(qū)域的快速定位,。內(nèi)置濾波片轉(zhuǎn)輪,可根據(jù)需要配置和篩選頻譜,。

角分辨解析光譜成像

SPARC提供非常獨(dú)特的角分辨解析圖像,。與常規(guī)通過(guò)光纖或狹窄開口耦合光線不同,大面積半拋物反射鏡直接耦合反射到成像照相機(jī),,大幅度提高光子收集效率,。*特別的是, 系統(tǒng)還能檢測(cè)光的發(fā)射方向性,,也常被稱為瞬間光譜,。在這種模式下,調(diào)整使用濾光片轉(zhuǎn)輪上特定濾波片用于選擇需要的波長(zhǎng),。

高譜像

當(dāng)SPARC系統(tǒng)運(yùn)行在光譜模式下,,從反射鏡傳遞來(lái)的光聚焦在光柵或柴爾尼 - 特納攝譜儀成像。不同的成像探測(cè)器可以覆蓋200nm-1600nm的光譜范圍。通過(guò)電子束掃描整個(gè)樣品,,就可以得到高空間分辨率的光譜圖像,。

陰極發(fā)光偏振圖像

在角度分辨模式使用偏振片或偏光計(jì),SPARC系統(tǒng)可以對(duì)不同發(fā)射角度的光進(jìn)行極性狀態(tài)重構(gòu),。先進(jìn)的光學(xué)系統(tǒng)自動(dòng)校準(zhǔn)包括半拋物反射鏡的對(duì)準(zhǔn)的校驗(yàn),,對(duì)于極性狀態(tài)重構(gòu)是**關(guān)鍵的一環(huán)。SPARC提供完整的系統(tǒng)自動(dòng)校準(zhǔn)功能,。

友好用戶交互

Odemis 軟件

模塊化設(shè)計(jì)加上開源的ODEMIS軟件, 我們提供友好交互解決方案以服務(wù)廣泛的用戶類型,。 我們提供系統(tǒng)化解決方案,,實(shí)現(xiàn)真正根據(jù)應(yīng)用需求定制化的獨(dú)特的系統(tǒng),充分滿足科學(xué)家不同的需求,。

軟件特點(diǎn)

強(qiáng)大的軟件功能,,比如圖像自動(dòng)峰值校準(zhǔn),即時(shí)極性制圖,、圖像到處和漂移校正等,,提高您圖像采集的效率和質(zhì)量。開源程序使用Python語(yǔ)言編寫,, 專家用戶可以自己二次開發(fā)全面定制屬于自己的圖像算法和硬件控制

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