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半導體材料體積電阻率測定儀
半導體材料體積電阻率測定儀

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北京智德創(chuàng)新儀器設備有限公司

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ATI-1000S型高溫半導體材料體積電阻率測定儀/半導體電阻率測量儀主要用于半導體材料導電性能的評估和測試,,該系統(tǒng)采用四線電阻法測量原理進行設計開發(fā),,可以在高溫、真空氣氛的條件下測量半導體材料電阻和電阻率,,可以分析被測樣品電阻和電阻率隨溫度,、時間變化的曲線。半導體材料體積電阻率測定儀/半導體電阻率測量儀目前主要針對圓片,、方塊,、長條等測試樣品進行測試,可以廣泛用于半導體材料硅(si),、鍺(ge),,化合物半導體材料砷化鎵(GaAs)、銻化銦(InSb),,三元化合物半導體GaAsAl,、GaAsP,固溶體半導體,,如Ge-Si,、GaAs-GaP等的塊體材料的電阻率測量等材料的電阻率測量。

技術參數:

溫度范圍:RT-1000℃

升溫斜率:0-10℃/min (典型值:3℃/min)

控溫精度:±0.5℃

電阻測量范圍:0.1mΩ~1MΩ

電阻率測量范圍:100nΩ..cm~100KΩ .cm

測量環(huán)境:惰性氣氛,、還原氣氛,、真空氣氛

測量方法:四線電阻法

測試通道:單通道

樣品尺寸:10mmx10mmX20mm或φ<20mm ,d<5mm

電極材料:上電極半圓型鉑金電極,,下電極平板型鉑金電極

絕緣材料:99氧化鋁陶瓷

數據存儲格式:TXT文本格式

數據傳輸:USB

符合標準:ASTM

供電:220V±10%,,50Hz

工作溫度:5℃ 至 + 40 ℃;

存儲溫度:–40 ℃ 至 +65 ℃

工作濕度:+40 ℃ 時,,相對濕度**達 95%(無冷凝)

設備尺寸:400x450x580mm

重量:38kg

產品特點:

■ 高溫爐膛,、測量夾具、測量軟件等集成于一體,,讓操作變得更加簡單,,測量精度則會更高;

■ 觸摸屏控制和顯示,,同時支持外接鍵盤和鼠標操作,,滿足多樣化需求;

■ ATI電阻率測量軟件兼容世界主流儀表Keithley 2400,,擴展應用更加方便,;

■ 可以實現常溫、高溫,、真空,、氣氛條件下測量半導體材料的電學性能,;

■ 專業(yè)的測量軟件,可以測量半導體材料的方塊電阻和電阻率,;

■ 進口纖維一體開模鑄造的高溫爐膛,,**耐溫1100℃;

■ 內膽采用進口金屬材料,,耐高溫,、抗氧化,可實現常溫,、高溫,、真空、流動氣氛等多種試驗環(huán)境下的電學測量,;

■ 為了減小高溫下導線受電爐絲的交流信號干擾而建立了金屬屏蔽罩,,有效減小外部信號的干擾和增加測試頻率帶寬;

■ 采用九點控溫法,,以傳感器為中心點,,其半徑20mm的圓環(huán)上均勻鋪設八個溫度采集點,九個溫度點范圍內采集到的溫度**溫差為1℃,,此范圍為樣品測試的**溫區(qū),;

■ 彈簧夾具設計,彈簧的可壓縮性既不損傷樣品又能實現樣品的良好接觸,;

■ 上電極半球狀+下電極平板狀結構設計,,可以精確定位測量被測樣品某一點;

■ 控溫和測溫采用同一個傳感器,,保證樣品每次采集的溫度都是樣品實際溫度,;

■ 采用九點控溫法,九個溫度點范圍內采集到的溫度**溫差為1℃,,此范圍為樣品測試的**溫區(qū),;

■ 電極支撐和屏蔽采用進口合金材質,利用葉片設計可以很好解決因平臺帶來的熱弛豫影響,;

■ 可以測量半導體材料的方塊電阻,、電阻率,,實現常溫,、變溫、恒溫條件的I-V,、R-T,、R-t等測量功能;

■ 操作簡單,,功能強大的測量軟件,,可以通過輸入樣品的面積和厚度,,軟件自動計算樣品的電阻率ρv;

■ 智能化控制,,可自動調節(jié)施加在樣品的測試電壓,,以防樣品擊穿;

■ 采用**的RAM嵌入式開發(fā)平臺,,可以進行在線升級,、遠程協(xié)助及故障診斷;

■ 測量軟件終身免費設計,;

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