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主要特點(diǎn)：
◆ 超高速測(cè)量,，采用無(wú)摩擦的線性驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)
◆ 三維幾何自動(dòng)化測(cè)量，輪廓圖象處理系統(tǒng),，用于常規(guī)幾何和自由曲面的自動(dòng)測(cè)量
◆ 模快化構(gòu)造能夠快速適用于不同的測(cè)量任務(wù)
◆ Z軸快速成像自動(dòng)聚焦系統(tǒng),，高速CNC連續(xù)路徑控制
◆ 無(wú)畸變遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)(0.2x-100x）,，可選用變焦光學(xué)系統(tǒng)
◆ 可選配接觸式測(cè)頭、點(diǎn)激光,、線激光各種傳感器
技術(shù)參數(shù)：
| 型號(hào) | Inspector FQ | |
| 測(cè)量范圍 | (X-軸) | 400-1000mm |
| (Y-軸) | 400-1000mm | |
| (Z-軸) | 200-300mm | |
| **允許測(cè)量誤差 | (E1單軸精度） | (2.5+L(mm)/120)μm |
| (E2平面精度） | (2.9+L(mm)/100)μm | |
| (E3空間精度） | (4.5+L(mm)/75)μm | |
| 固定鏡頭 | 0.2X-100X | |
| 分辨率 | 0.2μm | |
| 工作臺(tái)承重 | 150kg（300kg可選） | |
| 定位速度 | 1m/s | |
| 加速度 | 10m/s2 | |
| 頻率 | 48-62Hz | |
| 儀器重量 | 1500-6000kg | |
| 精度保證環(huán)境條件 | 20℃±2 o Δ=1o/h | |
| 適用溫度 | 10-35℃ | |
可選配**Werth Zoom高放大倍率(0.68-6.8X或1-10X),，大工作距離(80mm標(biāo)準(zhǔn)或20mm-220mm可變)十級(jí)自動(dòng)變焦系統(tǒng),，更高測(cè)量精度可選
依據(jù)標(biāo)準(zhǔn) ISO 10360 和 VDI/VDE 2617
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