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超納NanoX-S 3D光學(xué)干涉輪廓儀設(shè)備，外觀精致小巧,，體積小,，重量輕，測量精度高,，測量時(shí)間短,，操作簡單方便。適用于先進(jìn)制造業(yè)中微米,、納米級(jí)結(jié)構(gòu)表面微觀特征的三維精密測量,，包括表面 粗糙度、表面輪廓,、臺(tái)階高,、表面缺陷,、微 觀形貌,、薄膜厚度等等,。同時(shí)適用于大專院校實(shí)驗(yàn)平臺(tái),，科研院所以及各類專業(yè)檢測平臺(tái)實(shí)驗(yàn)室,。
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