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二氯硅烷氦離子色譜儀儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器,，采用華愛公司的中心切割技術(shù)，進樣閥均帶有吹掃保護氣路,；整機采用多柱箱設(shè)計,，并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進樣量,。產(chǎn)品先后榮獲上海市成果轉(zhuǎn)化A級項目,、上海市重點新產(chǎn)品,、上海市火炬計劃和2009科學(xué)儀器產(chǎn)品等稱號,。
| 項目名稱 | 指標(biāo) | ||
| 三氯氫硅(SiHCl3 )含量（體積分數(shù)）/l0-6 ≤ | 10 | ||
| (一氯硅烷+氯化氫)含量（SiH3Cl+HCl）含量”，以氯化氫計（體積分數(shù)）/l0-6 ≤ | 50 | ||
| 氮（N2）含量（體積分數(shù)）/l0-6 ≤ | 1 | ||
| （氧+氬）（O2+Ar）含量（體積分數(shù)）/l0-6 ≤ | 1 | ||
| 一氧化碳（CO）含量（體積分數(shù)）/l0-6 ≤ | 1 | ||
| 氫（H2）含量（體積分數(shù)）/l0-6 ≤ | 10 | ||
| 二氧化碳（CO2）含量（體積分數(shù)）/l0-6 ≤ | 1 | ||
| 總烴（THC）含量,，以甲烷（CH4）計（體積分數(shù)）/l0-6 ≤ | 1 | ||
| 金屬元素及其他元素含量 | （硼+鋁）（B+Al）含量/（μg/kg） ≤ | 0.1 | |
| （磷+砷）（P+As）含量/（μg/kg） ≤ | 0.3 | ||
| 鎵（Ga）含量/（μg/kg） ≤ | 0.1 | ||
| 銻（Sb）含量/（μg/kg） ≤ | 0.1 | ||
| 銦（In）含量/（μg/kg） ≤ | 0.1 | ||
| 鈣（Ca）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | ||
| 鉻（Cr）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | ||
| 鐵（Fe）含量/（μg/kg） ≤ | 5 | ||
| 鉀（K）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | ||
| 鈉（Na）含量/（μg/kg） ≤ | 0.2 | ||
| 鎳（Ni）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | ||
| 鉬（Mo）含量/（μg/kg） ≤ | 0.1 | ||
| 錳（Mn） 含量/（μg/kg） ≤ | 0.2 | ||
| 銅（Cu）含量/（μg/kg） ≤ | 0.2 | ||
| 鎘（Cd） 含量/（μg/kg） ≤ | 0.5 | ||
| 鈷（Co）含量/（μg/kg） ≤ | 0.5 | ||
| 鋅（Zn）含量/（μg/kg） ≤ | 0.1 | ||
暫無數(shù)據(jù),！
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