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HPR-80(Quantitative Gas Analyser for Reactive / Corrosive Species)是專為活潑性,、腐蝕性氣體分析和半導(dǎo)體,、真空過程研究而設(shè)計(jì)的儀器,快速,、定量分析活潑性,、腐蝕性氣體混合物。
應(yīng)用:
· 等離子體/反應(yīng)性離子蝕刻研究
· CVD / PVD / MOCVD
· 半導(dǎo)體晶片加工研究
· 真空,、等離子體過程
· 活性物質(zhì)定量分析
· HF,,HCl,,HBr,CFC 研究
主要特點(diǎn):
· 加熱的電拋光波紋管,,快速偶合連接器
· 可清除的,,帶粘性流QIC校正的進(jìn)樣口用于定量分析
· 高靈敏度至 5 ppb, 質(zhì)量數(shù)可至2500 amu.
· 進(jìn)樣壓力從 1 mtorr 至大氣壓
· 電容壓力計(jì),,壓力檢測可不受分析物影響
· 穩(wěn)定性好 (24h之上,,小于峰高±0.5% )
· 軟件 MASsoft 控制
· 矩陣反演,歸一化及單峰參考
暫無數(shù)據(jù),!