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DSR300系列微納器件光譜響應(yīng)度測(cè)試系統(tǒng)是一款專(zhuān)用于低微材料光電測(cè)試的系統(tǒng),。其功能全面，提供多種重要參數(shù)測(cè)試,。系統(tǒng)集成高精度光譜掃描,，光電流掃描以及光響應(yīng)速率測(cè)試。40μm探測(cè)光斑,，實(shí)現(xiàn)百微米級(jí)探測(cè)器的*對(duì)光譜祥響應(yīng)度測(cè)量,。超高穩(wěn)定性光源支持長(zhǎng)時(shí)間的連續(xù)測(cè)試，豐富的光源選擇以及多層光學(xué)光路設(shè)計(jì)可擴(kuò)展多路光源,，例如超連續(xù)白光激光器,，皮秒脈沖激光器，半導(dǎo)體激光器,，鹵素?zé)?，氙燈等，滿(mǎn)足不同探測(cè)器測(cè)試功能的要求,。是微納器件研究的優(yōu)選,。
功能：
? 光譜響應(yīng)度
? 外量子效率
? 單色光/變功率IV；
? 不同輻照度IT曲線(xiàn)（分辨率200ms）
? 不同偏壓下的IT曲線(xiàn)
? LBIC,，Mapping
? 線(xiàn)性度測(cè)試
? 響應(yīng)速率測(cè)試
微納器件光譜響應(yīng)度測(cè)試系統(tǒng)主要技術(shù)參數(shù)
顯微鏡頭 | 標(biāo)配：10倍超長(zhǎng)工作距離物鏡,， 工作距離大于17mm NA值：0.42 光譜范圍：350-800nm 選配： 1，50倍超長(zhǎng)工作距離消色差物鏡,， 工作距離大于17mm NA值：0.42 光譜范圍：480-1800nm 2,，15倍紫外物鏡， 工作距離大于8.5mm NA值：0.32 光譜范圍：250-700nm 3,，50倍超長(zhǎng)工作距離紫外物鏡,， 工作距離大于12mm NA值：0.42 光譜范圍：240-500nm 4，40倍反射式長(zhǎng)工作距離 工作距離大于7.8mm NA值：0.5 光譜范圍：200nm-20um 光斑中心空心 |
光源 | 選配光源 1,、半導(dǎo)體激光器 波長(zhǎng)：405nm,，532nm，633nm,，808nm,，980nm可選 不穩(wěn)定性：＜1% 2、皮秒脈沖激光器 波長(zhǎng)：375nm,，405nm,，488nm，785nm,，976nm可選 脈寬：100ps 頻率：1-20M Hz 3,、氙燈光源 光譜范圍：250nm-1800nm 不穩(wěn)定性：＜1% 4、超連續(xù)白光激光光源 光譜范圍：400-2400nm 頻率：0.01MHz-200MHz 脈寬：100ps |
光譜儀 | 焦距：300mm,； 相對(duì)孔徑：f/3.9,； 光學(xué)結(jié)構(gòu)：C-T； 光譜儀分辨率：0.1nm,； 倒線(xiàn)色散：2.7nm,； 波長(zhǎng)準(zhǔn)確度：±0.2nm 波長(zhǎng)重復(fù)性：±0.1nm 掃描步距：0.005nm 狹縫規(guī)格：圓孔抽拉式固定狹縫，孔徑：0.2mm,，0.5mm,，1mm，1.5mm,，2mm,，2.5mm,，3mm； 三光柵塔臺(tái),； 光柵配置：1-120-300,、1-060-500、1-030-1250,，光柵尺寸：68×68mm 6檔自動(dòng)濾光片輪,，光譜范圍200-2000nm； 內(nèi)置電動(dòng)機(jī)械快門(mén),，軟件控制快門(mén)開(kāi)關(guān),； 雜散光抑制比：10-5 |
探針臺(tái)配置 | 4個(gè)探針座，配20/10微米針尖探針 2米三同軸電纜,，漏電流小于1pA,。 真空吸附樣品臺(tái)。 探針座：ＸＹＺ方向12ｍｍ調(diào)節(jié)行程,，0.75uｍ調(diào)節(jié)分辨率,， 0-30°調(diào)節(jié)探針角度。 |
LBIC Maapping | XY方向行程50mm,，分辨率5um,。 |
數(shù)釆 | v 鎖相放大器 斬波頻率：20Hz~1KHz； 頻率6位顯示,，2.4英寸屏,，320×240液晶顯示； 電壓輸入模式：?jiǎn)味溯斎牖虿罘州斎耄?/span> 電壓,、電流兩種輸入模式,； 滿(mǎn)量程靈敏度：1nV至1V； 電流輸入增益：106或108V/A,； 動(dòng)態(tài)儲(chǔ)備：＞100dB,； 時(shí)間常數(shù)范圍：10μs至3ks； v keithley2612B 量程：100nA/1A *小信號(hào)：1nA 本地噪音：100pa 分辨率：100fa 通道數(shù)：2 v keithley2636B 量程：1nA/1A *小信號(hào)：10pA 本地噪音：1pa 分辨率：10fa 通道數(shù)：2 |
制冷樣品臺(tái) | 溫度范圍：-196℃-600℃,，（-196℃需要選擇專(zhuān)用冷卻系統(tǒng)） 全程溫度精度/溫度性：0.1℃/＜0.01℃ 光孔直徑：2.4mm 樣品區(qū)域面積：直徑22mm 兩個(gè)樣品探針,，1個(gè)LEMO接頭（可增加至1探針） 工作距離：4.5-12.5mm 氣密樣品腔室，可充入保護(hù)性氣體 獨(dú)立溫度控制 |
響應(yīng)速率測(cè)試 | 示波器型號(hào)：MDO32 模擬帶寬100MHz 采樣率5GS/s 記錄長(zhǎng)度10M 時(shí)間范圍：uS-S,，需要配合調(diào)制激光器使用 時(shí)間范圍：10nS-S,，需要配合皮秒脈沖激光器使用 |
三維可調(diào)高穩(wěn)定探針臺(tái)結(jié)構(gòu)，方便樣品位置調(diào)節(jié),。
內(nèi)置三路半導(dǎo)體激光器或者兩路光纖激光器,，外置一路激光光路。
可以引入可調(diào)單色光源，進(jìn)行全光譜范圍的光譜響應(yīng)度測(cè)試,。
測(cè)試功能曲線(xiàn)：
40um光斑@550nm@50倍物鏡200um光纖 70um光斑@550nm@50倍物鏡400um光纖
5um光斑@375nm皮秒激光器@40倍物鏡
紫外增強(qiáng)氙燈和EQ99光源的單色光能量曲線(xiàn),，使用40倍反射式物鏡，300mm焦距光譜儀,，光譜儀使用1200刻線(xiàn)300nm閃耀光柵,，光斑直徑大小80um,。
暫無(wú)數(shù)據(jù),！
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