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DSR300系列微納器件光譜響應(yīng)度測試系統(tǒng)是一款專用于低微材料光電測試的系統(tǒng),。其功能全面,，提供多種重要參數(shù)測試。系統(tǒng)集成高精度光譜掃描,，光電流掃描以及光響應(yīng)速率測試,。40μm探測光斑，實(shí)現(xiàn)百微米級探測器的*對光譜祥響應(yīng)度測量,。超高穩(wěn)定性光源支持長時間的連續(xù)測試,，豐富的光源選擇以及多層光學(xué)光路設(shè)計(jì)可擴(kuò)展多路光源，例如超連續(xù)白光激光器，皮秒脈沖激光器,，半導(dǎo)體激光器,，鹵素?zé)簦療舻?，滿足不同探測器測試功能的要求,。是微納器件研究的優(yōu)選。
功能：
? 光譜響應(yīng)度
? 外量子效率
? 單色光/變功率IV,；
? 不同輻照度IT曲線（分辨率200ms）
? 不同偏壓下的IT曲線
? LBIC,，Mapping
? 線性度測試
? 響應(yīng)速率測試
微納器件光譜響應(yīng)度測試系統(tǒng)主要技術(shù)參數(shù)
顯微鏡頭 | 標(biāo)配：10倍超長工作距離物鏡， 工作距離大于17mm NA值：0.42 光譜范圍：350-800nm 選配： 1,，50倍超長工作距離消色差物鏡,， 工作距離大于17mm NA值：0.42 光譜范圍：480-1800nm 2，15倍紫外物鏡,， 工作距離大于8.5mm NA值：0.32 光譜范圍：250-700nm 3,，50倍超長工作距離紫外物鏡， 工作距離大于12mm NA值：0.42 光譜范圍：240-500nm 4,，40倍反射式長工作距離 工作距離大于7.8mm NA值：0.5 光譜范圍：200nm-20um 光斑中心空心 |
光源 | 選配光源 1,、半導(dǎo)體激光器 波長：405nm，532nm,，633nm,，808nm，980nm可選 不穩(wěn)定性：＜1% 2,、皮秒脈沖激光器 波長：375nm,，405nm，488nm,，785nm,，976nm可選 脈寬：100ps 頻率：1-20M Hz 3、氙燈光源 光譜范圍：250nm-1800nm 不穩(wěn)定性：＜1% 4,、超連續(xù)白光激光光源 光譜范圍：400-2400nm 頻率：0.01MHz-200MHz 脈寬：100ps |
光譜儀 | 焦距：300mm,； 相對孔徑：f/3.9； 光學(xué)結(jié)構(gòu)：C-T,； 光譜儀分辨率：0.1nm,； 倒線色散：2.7nm； 波長準(zhǔn)確度：±0.2nm 波長重復(fù)性：±0.1nm 掃描步距：0.005nm 狹縫規(guī)格：圓孔抽拉式固定狹縫,，孔徑：0.2mm,，0.5mm，1mm,，1.5mm,，2mm，2.5mm，3mm,； 三光柵塔臺,； 光柵配置：1-120-300、1-060-500,、1-030-1250,，光柵尺寸：68×68mm 6檔自動濾光片輪，光譜范圍200-2000nm,； 內(nèi)置電動機(jī)械快門,，軟件控制快門開關(guān)； 雜散光抑制比：10-5 |
探針臺配置 | 4個探針座,，配20/10微米針尖探針 2米三同軸電纜,，漏電流小于1pA。 真空吸附樣品臺,。 探針座：ＸＹＺ方向12ｍｍ調(diào)節(jié)行程,，0.75uｍ調(diào)節(jié)分辨率， 0-30°調(diào)節(jié)探針角度,。 |
LBIC Maapping | XY方向行程50mm,，分辨率5um。 |
數(shù)釆 | v 鎖相放大器 斬波頻率：20Hz~1KHz,； 頻率6位顯示,，2.4英寸屏，320×240液晶顯示,； 電壓輸入模式：單端輸入或差分輸入,； 電壓、電流兩種輸入模式,； 滿量程靈敏度：1nV至1V,； 電流輸入增益：106或108V/A； 動態(tài)儲備：＞100dB,； 時間常數(shù)范圍：10μs至3ks,； v keithley2612B 量程：100nA/1A *小信號：1nA 本地噪音：100pa 分辨率：100fa 通道數(shù)：2 v keithley2636B 量程：1nA/1A *小信號：10pA 本地噪音：1pa 分辨率：10fa 通道數(shù)：2 |
制冷樣品臺 | 溫度范圍：-196℃-600℃，（-196℃需要選擇專用冷卻系統(tǒng)） 全程溫度精度/溫度性：0.1℃/＜0.01℃ 光孔直徑：2.4mm 樣品區(qū)域面積：直徑22mm 兩個樣品探針,，1個LEMO接頭（可增加至1探針） 工作距離：4.5-12.5mm 氣密樣品腔室，可充入保護(hù)性氣體 獨(dú)立溫度控制 |
響應(yīng)速率測試 | 示波器型號：MDO32 模擬帶寬100MHz 采樣率5GS/s 記錄長度10M 時間范圍：uS-S,，需要配合調(diào)制激光器使用 時間范圍：10nS-S,，需要配合皮秒脈沖激光器使用 |
三維可調(diào)高穩(wěn)定探針臺結(jié)構(gòu)，方便樣品位置調(diào)節(jié),。
內(nèi)置三路半導(dǎo)體激光器或者兩路光纖激光器,，外置一路激光光路。
可以引入可調(diào)單色光源，進(jìn)行全光譜范圍的光譜響應(yīng)度測試,。
測試功能曲線：
40um光斑@550nm@50倍物鏡200um光纖 70um光斑@550nm@50倍物鏡400um光纖
5um光斑@375nm皮秒激光器@40倍物鏡
紫外增強(qiáng)氙燈和EQ99光源的單色光能量曲線,，使用40倍反射式物鏡，300mm焦距光譜儀,，光譜儀使用1200刻線300nm閃耀光柵,，光斑直徑大小80um。
暫無數(shù)據(jù),！
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