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凈化柱（單柱） | 功能：除水&除氧,，氣路系統(tǒng)密封循環(huán)凈化,、再生活化。 |
容器材料：SUS304不銹鋼，卡套接口316不銹鋼,。 | |
凈化材料：銅觸媒（德國BASF）5公斤,分子篩（美國UOP）5公斤,。 | |
凈化能力：除氧60L，除水2公斤,，系統(tǒng)密閉,，泄漏率<0.001%vol/h。 | |
水氧指標(biāo)：穩(wěn)定控制<1ppm,極限可達(dá)<0.1ppm,。 | |
循環(huán)系統(tǒng) | 工作氣體：氮?dú)猓∟2）/氬氣（Ar）/氦氣（He）,，純度99.999% |
循環(huán)能力：集成風(fēng)機(jī)流量：90m3/h，可變頻調(diào)節(jié)風(fēng)量,；可提供更大風(fēng)量風(fēng)機(jī),，風(fēng)量145m3/h、180m3/h可選,。 | |
再生 | 操作：PLC程序控制,，自動完成再生過程。 |
再生氣體：工作氣與氫氣混合的氣體（H2比例5%~10%） | |
真空泵 | 規(guī)格：抽速8m3/h,、12m3/h或16m3/h可選,，品牌：英國愛德華、德國萊寶,、國產(chǎn)一線品牌等,，提供多種配置選擇。 |
閥門 | 主閥：DN40KF,，電磁氣動角閥,，鋁合金或不銹鋼閥體。 |
氣路控制閥：電磁閥,，Φ10不銹鋼管,，集成閥座氣路控制系統(tǒng)。 |
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