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凈化柱（單柱） | 功能：除水&除氧,，氣路系統(tǒng)密封循環(huán)凈化、再生活化,。 |
容器材料：SUS304不銹鋼,，卡套接口316不銹鋼,。 | |
凈化材料：銅觸媒（德國BASF）5公斤,分子篩（美國UOP）5公斤。 | |
凈化能力：除氧60L,，除水2公斤,，系統(tǒng)密閉，泄漏率<0.001%vol/h,。 | |
水氧指標：穩(wěn)定控制<1ppm,極限可達<0.1ppm,。 | |
循環(huán)系統(tǒng) | 工作氣體：氮氣（N2）/氬氣（Ar）/氦氣（He），純度99.999% |
循環(huán)能力：集成風機流量：90m3/h,，可變頻調(diào)節(jié)風量,；可提供更大風量風機，風量145m3/h,、180m3/h可選,。 | |
再生 | 操作：PLC程序控制，自動完成再生過程,。 |
再生氣體：工作氣與氫氣混合的氣體（H2比例5%~10%） | |
真空泵 | 規(guī)格：抽速8m3/h,、12m3/h或16m3/h可選,，品牌：英國愛德華,、德國萊寶、國產(chǎn)一線品牌等,，提供多種配置選擇,。 |
閥門 | 主閥：DN40KF，電磁氣動角閥,，鋁合金或不銹鋼閥體,。 |
氣路控制閥：電磁閥，Φ10不銹鋼管,，集成閥座氣路控制系統(tǒng),。 |
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