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用途：可用于以碳氫氣體（如C3H8等）為碳源的復合材料的化學氣相沉積,，如C/C復合材料,、SiC復合材料等的CVD、CVI處理.
特點：
●采用先進的控制技術,，能精密控制氣體的流量和壓力,，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動范圍??；
●采用特殊結構沉積室，密封效果好,，抗污染能力強,；
●采用多通道沉積氣路，流場均勻,，無沉積死角,，沉積效果好；
●對沉積產(chǎn)生的高腐蝕性尾氣,、易燃易爆氣體,、固體粉塵及低熔點粘性產(chǎn)物能進行有效處理；
●采用防腐蝕真空機組設計,，持續(xù)工作時間長,，維修率低。
沉積爐主要配置
●爐門：絲杠升降//液壓升降/,；手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊
●爐殼：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
●爐膽：軟碳氈/軟石墨氈/硬質(zhì)復合氈
●加熱器：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨
●工藝氣路系統(tǒng)：體積/質(zhì)量流量計,；手動閥/自動閥,；進口/國產(chǎn)
●真空泵和真空計---進口/國產(chǎn)
●人機界面：觸摸屏/工控機
●電器元件：正泰/施耐德/西門子
參數(shù)\型號 | JR-CJL-Φ30×50 | JR-CJL-Φ60×80 | JR-CJL-Φ80×120 | JR-CJL-Φ100×150 | JR-CJL-Φ110×200 |
容積（L） | 35 | 226 | 602 | 1177 | 1899 |
**溫度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
工作區(qū)尺寸D×H（mm） | Φ300×500 | Φ600×800 | Φ800×1200 | Φ1000×1500 | Φ1100×2000 |
控溫方式 | 日本島電溫控儀 | ||||
加熱方式 | 電阻加熱 | ||||
真空系統(tǒng) | 抗污泵或滑閥泵+羅茨泵 | ||||
燒結氣氛 | 碳氫氣體等 | ||||
額定電源電壓(V) | 380 | ||||
額定加熱電壓(V) | 根據(jù)設計確定，配置爐前變壓器 | ||||
真空極限度(Pa) | 6X10ˉ2（真空冷態(tài)） | ||||
暫無數(shù)據(jù),！
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