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面議型號(hào)
8-12寸硅舟品牌
盾源聚芯產(chǎn)地
寧夏樣本
暫無主成分含量（%）：
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采用**Si-Fusion**，可實(shí)現(xiàn)硅與硅之間的熔接,，各部件熔接形成的硅舟可應(yīng)用在1100-1200℃的高溫處理工藝和CVD-Poly沉積工藝,。
技術(shù)優(yōu)勢
1.可進(jìn)行硅舟結(jié)構(gòu)的定制化設(shè)計(jì)，包括溝棒形狀,，溝齒長度,、形狀、傾斜角度，以及硅舟的總載片量,。
2.高溫硅舟可以有效減少硅片的接觸損傷,，提升制程良率。
3.熔接硅舟可以對(duì)損壞部件進(jìn)行更換,，降低持有成本,。
4.硅舟擁有較大的多晶硅沉積上限，可以有效減少設(shè)備PM頻率,，提升產(chǎn)能,。
暫無數(shù)據(jù)！
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