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電子級多晶硅智能工廠
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術(shù),，不但實現(xiàn)生產(chǎn)過程自動化、透明化,、可視化,、精益化，而且在
產(chǎn)品檢測,、質(zhì)量檢驗和分析,、生產(chǎn)物流等環(huán)節(jié)也與生產(chǎn)過程實現(xiàn)閉環(huán)集成。
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