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PECVD系統(tǒng)就是為了使傳統(tǒng)的化學(xué)氣象沉積（CVD）反應(yīng)溫度降低,，在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應(yīng)裝置將反應(yīng)氣體電離,，形成等離子體，利用等離子體的活性來促進反應(yīng),，所以這個系統(tǒng)稱為增強型化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PECVD）,。 該型號PECVD綜合了國內(nèi)大多數(shù)廠家的管式PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點,，在PECVD前端加入了氣體預(yù)熱區(qū)，實驗證明此結(jié)構(gòu)沉積速度快,，成膜質(zhì)量好,，針孔較少，不易龜裂,。
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